[实用新型]一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构

说明书

本实用新型提供了一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，包括：烧结炉，设置在所述烧结炉上端的两处排压部以及设置在两处所述排压部外壁的两个盖帽部，盖帽部与排压部均为能耐受高温的陶瓷材质，其中；所述烧结炉排压时，两个所述盖帽部能够顶起，以使两处所述排压部露出，现有技术中，结构简单能耐受高温的排压装置，无法根据排压需求而灵活调节，与现有技术相比，设置有盖帽部与排压部的活动式组合结构，烧结炉工作时的压力顶推盖帽部在排压部上上升而达到快捷的调压工作，让顶推盖帽部与排压部的排压间隙灵活调整至合适尺寸，满足了烧结炉排压工作的多样化需求。

技术领域

本实用新型涉及烧结炉技术领域，具体而言，涉及一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构。

背景技术

烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

现阶段该材料也通过烧结炉烧制完成，烧结炉工作时，炉子内会产生一定的压力，压力需要通过烧结炉内的功率进行合适的排压，现阶段泄压阀结构复杂，不能承受烧结炉泄压时的温度，因此，现有技术存在不足，需要对此进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构 ，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，包括：烧结炉，设置在所述烧结炉上端的两处排压部以及设置在两处所述排压部外壁的两个盖帽部，其中；所述烧结炉排压时，两个所述盖帽部能够顶起，以使两处所述排压部露出。

进一步地，所述排压部包括连通设置在所述烧结炉上的排压管以及呈圆周设置在所述排压管上的若干排热孔；若干所述排热孔为上宽下窄的等腰梯形，其中；所述盖帽部顶起时，若干所述排热孔能够露出。

进一步地，所述排压部还包括设置在所述烧结炉上的储油圆槽；所述储油圆槽与所述排压管为同一圆心，其中；所述储油圆槽能够散发所述排压管热量。

进一步地，所述排压管外侧设置有若干润滑部；所述盖帽部包括套在所述排压管上的固定筒以及设置在所述固定筒内侧的若干滑槽；若干所述润滑部与若干所述滑槽一一对应，其中；所述固定筒顶起时，若干所述滑槽能够沿若干所述润滑部上升。

进一步地，所述盖帽部还包括螺旋连接在所述固定筒底端的固定环；所述固定环内径小于所述滑槽内径，其中；若干所述滑槽沿若干所述润滑部上升时，所述固定环能够上抵若干所述润滑部。

进一步地，所述润滑部包括设置在所述排压管外侧的滑块，其中；所述滑槽能够沿所述滑块升降。

进一步地，所述润滑部还包括设置在所述滑块相邻三个面上的三个活动槽以及设置在三个所述活动槽内的三个滚珠，其中；所述滑槽沿所述滑块升降时，三个所述滚珠能够摩擦所述滑槽，以使三个所述滚珠滚动。

相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：与现有技术相比，设置有盖帽部与排压部的活动式组合结构，烧结炉工作时的压力顶推盖帽部在排压部上上升而达到快捷的调压工作，让顶推盖帽部与排压部的排压间隙灵活调整至合适尺寸，满足了烧结炉排压工作的多样化需求。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的结构示意图；

图2示出了本实用新型的最优实施例局部爆炸图；

图3示出了本实用新型的图2中A处放大图；

图4示出了本实用新型的盖帽部立体图。

图中

1、烧结炉；