[实用新型]用于多晶硅生产中还原厂房的中央除尘系统

说明书

本实用新型公开了一种用于多晶硅生产中还原厂房的中央除尘系统，涉及多晶硅生产技术领域，目的是提高还原炉底盘和电极清理效率。本实用新型的主要技术方案为：用于多晶硅生产中还原厂房的中央除尘系统，包括：过滤部件设置于壳体内部，用于将壳体分隔成第一壳体和第二壳体，第一壳体连接于进气管的一端，进气管的另一端连接于吸尘软管，第二壳体连接于出气管的一端，出气管的另一端连接于除尘风机；脉冲吹气管连接于第二壳体，振打机构包括支架、多个弹簧和多个空心球，支架固定设置于第二壳体内，支架沿过滤部件的表面延伸，多个弹簧的一端分别连接于支架，用于使多个弹簧依次排列于过滤部件的表面，每一个弹簧的另一端连接于其中一个空心球。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅生产中还原厂房的中央除尘系统。

背景技术

太阳能作为一种可再生清洁能源受到了全球的重视，利用太阳能资源来发电的技术己经被认为是当今全球最有发展前景的新能源技术。因而，以太阳能发电技术为核心的光伏产业在21世纪初得到了迅猛的发展。多晶硅作为光伏产业的主要原材料，随着光伏行业的快速发展，其需求大幅增加。在太阳能光伏产业市场的拉动及巨大利润诱导下，各地多晶硅项目纷纷上马，多晶硅产业前景广阔，发展迅猛，在中国己经成为投资的热点。

目前制备多晶硅棒的主要方法为改良西门子法，改良西门子法是一种化学气相沉积技术，采用钟罩式反应器，基本原理是利用硅芯(或称硅芯棒)作为发热体及硅的沉积载体，用三氯氢硅作反应气体，氢气作还原气体，待硅芯升高到一定温度后，三氯氢硅与氢气在硅芯表面反应生成硅并沉积在硅芯表面，最终得到想要的多晶硅棒。

在制备多晶硅棒的过程中，还原炉内除了主要产品硅棒以外还生成四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢等副产物，同时不可避免的还会生成硅粉附着在还原炉钟罩底盘电极等设备上；“改良西门子法”工艺生产多晶硅的特点是：还原炉生产硅棒是间歇批次生产，每生产一个批次拆卸硅棒产品后，要重新进行硅芯的安装再进行生产；因此清理硅粉就是还原生产非常重要的一个环节；而还原厂房是洁净厂房，因此清理硅粉就显得尤为重要。

还原厂房中硅棒要在空气中冷却，暴露一定时间，在装炉过程中也要求不能有扬尘，因此还原厂房必须是洁净厂房，但是我们在拆完硅棒后，钟罩可移到专门的设施上清洗，而底盘和电极则只有就地清理，普通的清理工具设施很容易扬起粉尘，或无法一次性的彻底清理出还原厂房，如移动式小型吸尘器设备在室内，清理次数多，转运不方便，且含有微量氯硅烷的粉尘在室内储存，移动容易产生静电，安全隐患大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于多晶硅生产中还原厂房的中央除尘系统，主要目的是提高还原炉底盘和电极处粉尘的清理效率。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种用于多晶硅生产中还原厂房的中央除尘系统，该系统包括：过滤部和防堵部；

所述过滤部包括壳体和过滤部件，所述过滤部件设置于所述壳体内部，用于将所述壳体分隔成第一壳体和第二壳体，所述第一壳体连接于进气管的一端，所述进气管的另一端连接于吸尘软管，所述第二壳体连接于出气管的一端，所述出气管的另一端连接于除尘风机；

所述防堵部包括脉冲吹气管和振打机构，所述脉冲吹气管连接于所述第二壳体，所述振打机构包括支架、多个弹簧和多个空心球，所述支架固定设置于所述第二壳体内，所述支架沿所述过滤部件的表面延伸，多个所述弹簧的一端分别连接于所述支架，用于使多个所述弹簧依次排列于所述过滤部件的表面，每一个所述弹簧的另一端连接于其中一个所述空心球，用于使所述空心球和所述弹簧同步摆动，以使所述空心球撞击所述过滤部件。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，每一个所述空心球的表面均布有多个凹坑。