[实用新型]自吸式高精度流体阀结构及流体泵

权利要求书

1.一种自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，包括多个依次连通的阀体，分别为第一阀体(1)、至少一个中间阀体(2)和第二阀体(3)；

所述阀体包括流体通道(4)、阀芯(5)和驱动结构(6)，所述驱动结构(6)与所述阀芯(5)连接，并用于调节所述阀芯(5)进入所述流体通道(4)内的体积，从而调节所述流体通道(4)的流量。

2.根据权利要求1所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，所述驱动结构(6)调节所述阀芯(5)进入所述流体通道(4)内的体积的方式包括开关模式和比例调节模式；

所述开关模式包括所述阀芯(5)封堵所述流体通道(4)，或者，所述阀芯(5)全部退出所述流体通道(4)；

所述比例调节模式包括调节所述阀芯(5)进入所述流体通道(4)内的体积比例，从而调节所述流体通道(4)内流体流量；

所述第一阀体(1)和所述第二阀体(3)的驱动结构(6)用于驱动所述阀芯(5)完成所述开关模式；

所述中间阀体(2)的驱动结构(6)用于驱动所述阀芯(5)完成所述开关模式和/或所述比例调节模式。

3.根据权利要求2所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，所述驱动结构(6)与所述阀芯(5)连接，并用于调节所述阀芯(5)向所述流体通道(4)内的位移量，从而调节阀芯(5)进入所述流体通道(4)内的体积；和/或

所述驱动结构(6)与所述阀芯(5)连接，并用于调节所述阀芯(5)向所述流体通道(4)内的形变量，从而调节阀芯(5)进入所述流体通道(4)内的体积。

4.根据权利要求3所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，所述阀芯(5)为可形变的电极片，所述电极片为第一电极，所述流体通道(4)与所述电极片的连接部分为第二电极；

所述驱动结构(6)包括与所述第一电极和所述第二电极连接的驱动电路，通过调节所述第一电极的电压，可调节所述电极片形变进入所述流体通道(4)内的体积，从而调节所述流体通道(4)的流量。

5.根据权利要求4所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于：所述电极片为压电陶瓷片。

6.根据权利要求3所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于：所述驱动结构(6)包括铁芯(61)、电磁线圈(62)及弹簧(63)；

所述铁芯(61)与所述阀芯(5)连接，所述铁芯(61)上缠绕所述电磁线圈(62)，所述弹簧(63)与所述铁芯(61)和/或所述阀芯(5)连接；

所述电磁线圈(62)断电时，在所述弹簧(63)弹力作用下，所述阀芯(5)位于所述流体通道(4)内，所述电磁线圈(62)通电时，所述铁芯(61)克服所述弹簧(63)弹力并驱动所述阀芯(5)退出所述流体通道(4)。

7.根据权利要求3所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，所述驱动结构(6)包括伸缩组件；

所述伸缩组件的一端与所述阀体连接；

所述伸缩组件伸长用于驱动所述阀芯(5)进入所述流体通道(4)内，所述伸缩组件收缩用于驱动所述阀芯(5)退出所述流体通道(4)。

8.根据权利要求7所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，所述伸缩组件包括连杆(64)、凸轮(65)和驱动电机；

所述连杆(64)的一端与所述阀芯(5)连接，另一端与所述凸轮(65)连接，所述驱动电机与所述凸轮(65)连接，并用于驱动所述凸轮(65)转动，所述凸轮(65)转动用于所述连杆(64)的伸长或收缩。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的自吸式高精度流体阀结构，其特征在于，所述第一阀体(1)、所述中间阀体(2)和所述第二阀体(3)的开关频率为0.01Hz至10KHz、1Hz至1MHz和/或1MHz至1GHz。

10.一种流体泵，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的自吸式高精度流体阀结构。