[实用新型]拉曼光谱测试装置及原位拉曼光谱测试系统

权利要求书

1.一种拉曼光谱测试装置，其特征在于，包括光源、光探测器、及光学模块，其中，所述光学模块包括：

壳体，所述壳体包括第一壳体，所述第一壳体设置有与所述第一壳体一端连接的支撑架，远离所述支撑架连接的所述第一壳体一端设有通光孔，所述支撑架将所述第一壳体分隔为左右相互连通的第一光通道及第二光通道；

光发射组件，所述光发射组件设置于所述第一光通道远离所述通光孔的一端，用于连接所述光源并出射光信号；

聚光组件，所述聚光组件设置于所述第一光通道靠近所述通光孔的一端，用于将光信号聚焦照射至样本的表面；

透反组件，所述透反组件设置于所述光发射组件和所述聚光组件之间，且所述光发射组件出射的光信号通过所述透反组件及所述聚光组件照射到所述样本以激发所述样本的拉曼散射信号，并将拉曼散射信号反射至所述第二光通道；

光接收组件，所述光接收组件设置于所述第二光通道，用于连接所述光探测器，并向所述光探测器传输所述拉曼散射信号，以得到所述样本的拉曼散射光谱。

2.根据权利要求1所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述第一壳体与所述通光孔相对的一侧设置有第一限位部；

所述光发射组件包括第一光纤耦合器，所述第一光纤耦合器与所述第一限位部限位配合，所述第一光纤耦合器用于连接所述光源。

3.根据权利要求2所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述光发射组件还包括设置于所述第一光纤耦合器和所述透反组件之间的准直镜，并且所述准直镜与所述第一壳体可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述第一壳体设置有第一限位组件，所述第一限位组件形成对所述准直镜的限位配合；

其中，所述第一限位组件包括与所述支撑架连接的第一限位件及与所述第一壳体连接的第二限位件。

5.根据权利要求3所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述光发射组件还包括滤光片，所述滤光片设置于所述准直镜和所述光纤耦合器之间，并且所述滤光片与所述第一壳体可拆卸连接；

或者，所述滤光片设置于所述准直镜和所述透反组件之间，并且所述滤光片与所述第一壳体可拆卸连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述第一壳体包括第一底板、与所述第一底板连接的第一侧板、与所述第一侧板间隔设置并与所述第一底板连接的第二侧板、连接所述第一侧板及所述第二侧板的第三侧板、及与所述第三侧板间隔设置并与所述第一侧板及所述第二侧板连接的第四侧板；

其中，所述通光孔设置于所述第三侧板，所述支撑架设置于所述第一侧板和所述第二侧板之间，且所述支撑架与所述第一侧板配合形成所述第一光通道，与所述第二侧板配合形成所述第二光通道。

7.根据权利要求6所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述第一壳体设置有第二限位组件，所述第二限位对所述透反组件形成限位；

其中，所述第二限位组件包括与所述支撑架成夹角设置且向第一方向延伸的第三限位件、及与所述第一侧板成夹角设置且向第一方向延伸的第四限位件。

8.根据权利要求6所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述第二侧板包括与所述第四侧板连接的第一侧部、与所述一侧部成夹角连接第二侧部、及与所述第二侧部成夹角连接并与所述第三侧板连接的第三侧部；

其中，所述光接收组件包括反射镜，所述第二侧部靠近所述支撑架一侧设置有第一凹槽，所述反射镜设置于所述第一凹槽，以形成对所述反射镜的限位。

9.根据权利要求6所述拉曼光谱测试装置，其特征在于，所述第一侧板远离所述第一底板一端设置有第二凹槽，所述第二侧板远离所述第一底板一端设置有第三凹槽，所述壳体还包括第二壳体，所述第二壳体通过所述第二凹槽和所述第三凹槽与所述第一壳体可拆卸连接。

10.一种原位拉曼光谱测试系统，其特征在于，包括：薄膜生长装置、及权利要求1-9任一项所述拉曼光谱测试装置；

所述拉曼光谱测试装置与所述薄膜生长装置配合，通过所述通光孔照射至所述薄膜生长装置内的样本，激发并接收所述样本的拉曼散射信号。