[实用新型]一种平面度检测设备

权利要求书

1.一种平面度检测设备，其特征在于，包括：

测量装置，其包括移动机构以及安装于所述移动机构的测量单元，所述移动机构包括至少一组移动组件；以及

定位装置，其包括定位工作台、以及安装于所述定位工作台上的定位件和定位工装，所述定位工作台上开设有检测孔，且所述检测孔的上端面形成检测平面，所述定位工装包括至少一组止动组件，所述止动组件包括止动块和驱动单元，所述驱动单元驱动所述止动块与所述定位件配合以固定待测工件。

2.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述移动组件包括伺服驱动单元、移动导轨和移动滑块，所述移动滑块滑动连接于所述移动导轨，所述伺服驱动单元与所述移动滑块传动连接，所述测量单元安装于所述移动滑块。

3.根据权利要求2所述的平面度检测设备，其特征在于，所述移动组件还包括位移检测单元，所述位移检测单元包括被测感应部以及至少一个与所述被测感应部配合的第一传感器，所述第一传感器安装于所述移动导轨，所述移动滑块设有所述被测感应部。

4.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述移动组件包括导轨支撑座、移动导轨和移动滑块，所述移动导轨固定安装于所述导轨支撑座，所述移动滑块通过所述移动导轨与所述导轨支撑座滑动连接，所述测量单元安装于所述移动滑块。

5.根据权利要求1－4任一项所述的平面度检测设备，其特征在于，所述移动组件的数量有三组，三组所述移动组件分别为第一移动组件、第二移动组件和第三移动组件，所述第一移动组件、第二移动组件和第三移动组件均包括移动导轨，所述第一移动组件、第二移动组件和第三移动组件的移动导轨的延伸方向相互垂直。

6.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述测量单元为光纤位移传感器。

7.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述止动组件的数量有三组，三组所述止动组件分别为第一止动组件、第二止动组件和第三止动组件，所述第一止动组件与所述定位件相对设置，所述第二止动组件与所述第三止动组件相对设置。

8.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述定位件设有压力检测单元。

9.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述定位工作台包括基台和支撑板，所述基台开设有安装孔，所述支撑板开设有定位孔和所述检测孔，所述基台位于所述安装孔上端面的外周设有若干数量的定位销，所述支撑板通过所述定位孔与所述定位销连接。

10.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，还包括清洁装置，所述清洁装置包括用于对所述定位工作台上设有的检测平面进行清洁的喷嘴，所述喷嘴安装于所述定位工作台上。