[实用新型]单晶焖炉料处理设备

权利要求书

1.一种单晶焖炉料处理设备，其特征在于，包括：

置物平台，包括置物区，所述置物区位于所述置物平台内侧，所述置物区用于放置坩埚；

升降机械臂，设置于所述置物平台的一侧，所述升降机械臂一端与所述置物平台连接；

电机装置，设置于所述升降机械臂远离所述置物平台一侧，所述电机装置与所述升降机械臂远离所述置物平台的一端连接，所述电机装置靠近所述置物平台的一侧连接有钻头，所述钻头为空心圆柱体，所述钻头与所述升降机械臂具有间隔；

对位装置，设置于所述置物平台靠近所述电机装置的一侧，且位于所述置物区外围；

切割装置，位于所述置物平台内，且位于所述置物区远离所述电机装置的一侧，沿垂直于所述置物区所在平面的方向上，所述钻头、所述置物区、所述切割装置至少部分交叠。

2.根据权利要求1所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述对位装置包括至少两个相对设置的夹具，所述夹具包括夹头和伸缩杆，所述伸缩杆沿第一方向上延伸，所述第一方向与所述升降机械臂的延伸方向相交，所述伸缩杆一端与所述置物平台连接，另一端与所述夹头连接。

3.根据权利要求1所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述置物平台靠近所述电机装置一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽为所述置物区。

4.根据权利要求3所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述切割装置包括升降杆、转动装置和切割刀，所述置物平台还包括第二凹槽，所述第二凹槽位于所述第一凹槽远离所述电机装置的一侧，所述第一凹槽的直径大于所述第二凹槽；

所述升降杆一端连接所述第二凹槽的底面，另一端连接所述转动装置，所述转动装置远离所述升降杆的一侧连接所述切割刀。

5.根据权利要求2所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述夹头远离所述伸缩杆一侧设有缓冲部。

6.根据权利要求4所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述切割刀的直径小于等于所述坩埚的内径。

7.根据权利要求4所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述切割刀的直径小于等于所述钻头的内径。

8.根据权利要求2所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述夹头在所述置物平台的正投影为C字型。

9.根据权利要求1所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，所述钻头的直径范围为100mm-500mm。

10.根据权利要求1所述的单晶焖炉料处理设备，其特征在于，沿所述钻头的延伸方向上，所述钻头的长度范围为300mm-500mm。