[实用新型]一种基于CCD实时监控的高低温探针台

说明书

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种基于CCD实时监控的高低温探针台。其技术方案包括：工作平台，支撑台板的顶部固定安装有横纵滑动载物台，横纵滑动载物台的顶部固定安装伸缩气缸，且伸缩气缸的顶部固定安装有安装台板，工作平台的顶部固定安装有安装腔体，安装腔体内滑动安装有支撑板，支撑板上套装有安装框体，安装框体内通过连接柱贯穿安装有CCD摄像头，工作平台顶部的一侧固定安装有显示器。本实用新型通过CCD摄像头实现了对探针机构的实时监控，避免了传统的人为式实时观察监控的情况，便于人员无需靠近探针台即可得知实时情况；通过横纵滑动载物台使探针台可以根据实际作业需求对探针机构进行横纵调节。

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种基于CCD实时监控的高低温探针台。

背景技术

高低温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，用于测试不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。

经检索，专利公告号为CN211955566U公开了一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的实用新型，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道，真空腔体外的冷源装置通过循环管道与所述冷源流通管道相接，并且载物台底面设置加热部件，真空腔体通过真空接头把光电信号引入真空腔体内的同时也能保证真空腔体的真空度；制冷剂直接通过载物台循环，能够实现快速降温，同时配合加热部件，通过加热与降温交替进行，快速达到半导体的测试温度，大大缩减测试时间，提升半导体器件的测试效率。

现有的高低温探针台存在的缺陷是：

1、现有的高低温探针台在作业期间，需要人员消耗较多时间的进行实时观察，增加了人力的损耗，降低了实用效果；

2、现有的高低温探针台在作业期间，整体结构形态较为固定，无法更好的根据实际检测需求进行灵活调节，增加了作业期间的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种基于CCD实时监控的高低温探针台。

本实用新型的技术方案：一种基于CCD实时监控的高低温探针台，包括工作平台，所述工作平台底部的四角固定安装有支撑腿，所述支撑腿之间固定安装有支撑台板，所述支撑台板的顶部固定安装有横纵滑动载物台，所述横纵滑动载物台的顶部固定安装伸缩气缸，且伸缩气缸的顶部固定安装有安装台板，所述工作平台的顶部固定安装有安装腔体，所述安装腔体内滑动安装有支撑板，所述支撑板上套装有安装框体，所述安装框体内通过连接柱贯穿安装有CCD摄像头，所述工作平台顶部的一侧固定安装有显示器。

使用人员对基于CCD实时监控的高低温探针台完整性进行检测作业，通过支撑腿实现对探针台的稳定支撑，通过支撑台板实现了作业器件的承载安装，通过横纵滑动载物台使探针台可以根据实际作业需求对探针机构进行横纵调节，通过伸缩气缸便于人员将探针结构进行安装固定，通过安装腔体、支撑板及安装框体组件的配合使探针台实现了XYZ轴的调节作业，通过CCD摄像头实现了对探针机构的实时监控，通过显示器可以将检测及监控的实时情况进行显示。

优选的，安装腔体内设有与支撑板滑动连接的滑动结构，安装腔体内安装有贯穿支撑板的第三螺纹调节杆。通过滑动结构保证支撑板在平移期间的稳定性，并且滑动结构通过滑槽及滑块组成，滑槽设置在安装腔体内的底部，通过滑块与支撑板滑动连接，通过第三螺纹调节杆的旋转实现对支撑板的横向平移调节。

优选的，支撑板的背面固定安装有两组安装块，安装块之间固定安装有贯穿安装框体的第二螺纹调节杆。通过安装块实现对第二螺纹调节杆的承接安装，通过第二螺纹调节杆进行旋转时带动安装框体进行上下调节，并且安装框体卡套在支撑板上，上下时通过支撑板进行限位。