[实用新型]一种新型废气处理的循环水装置

说明书

本实用新型提供一种新型废气处理的循环水装置，包括循环水箱、液位传感器、PH值检测传感器、循环水泵、排水泵以及补水电磁阀，循环水箱内部右侧安装有液位传感器，循环水箱前端面下侧安装有PH值检测传感器，循环水泵前阀右端连接有循环水泵，排水泵前阀右端连接有排水泵，循环水箱补水管上端连接有补水电磁阀，该设计解决了原有废气处理机用循环水装置不具备自动排水和补水功能的问题，本实用新型结构合理，能够实现自动排水和补水功能，大大降低了人工成本。

技术领域

本实用新型是一种新型废气处理的循环水装置，属于半导体废气处理技术领域。

背景技术

目前半导体工艺设备、废气处理机等设备由于工艺需要加高温，所以需要水冷却系统，而且废气处理系统需要喷淋水对一些有害易溶于水或酸碱性溶液的废气进行吸收处理。由于废气处理的废气在处理过程中会发热，导致溶液的会不断蒸发，从而溶液需要定期进行补液工作。另外废气处理后溶液具有酸碱性，且有一些残留副产物，所以需要定期进行冷却水箱排水、补水的工作。以往废气处理机通过人工操作，耗费人力财力，给冷却水系统带来很多不便，一旦忘记更换冷却水箱内的冷却水，会导致整个系统供水不可靠的现象，废气得不到有效处理存在很大的安全隐患，给生产带来诸多不便，现在急需一种新型废气处理的循环水装置来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型废气处理的循环水装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，能够实现自动排水和补水功能，大大降低了人工成本。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型废气处理的循环水装置，包括循环水箱、液位传感器、PH值检测传感器、循环水泵、排水泵以及补水电磁阀，所述循环水箱上端面左侧安装有监视窗，所述循环水箱内部右侧安装有液位传感器，所述循环水箱前端面下侧安装有PH值检测传感器，所述循环水箱右端面下侧焊接有循环水出水管，所述循环水出水管右端连接有循环水泵前阀，所述循环水泵前阀右端连接有循环水泵，所述循环水泵后端连接有循环水泵出水管，所述循环水泵出水管后端连接有循环水泵后阀，所述循环水泵后阀后端连接有循环水管，所述循环水箱右端面下侧安装有水箱排水管，所述水箱排水管右端连接有排水泵前阀，所述排水泵前阀右端连接有排水泵，所述排水泵后端连接有排水泵出水管，所述排水泵出水管后端连接有排水泵后阀，所述排水泵后阀后端连接有排水出水管，所述循环水箱上端面后侧设置有循环水箱补水管，所述循环水箱补水管上端连接有补水电磁阀。

进一步地，所述液位传感器和PH值检测传感器均通过信号线与外界PLC控制器信号连接，外界PLC控制器通过信号线与外界计算机控制器信号连接，所述循环水泵、循环水泵前阀、循环水泵后阀、排水泵前阀、排水泵、排水泵后阀和补水电磁阀均通过导线与外界PLC控制器进行信号连接。

进一步地，所述循环水箱上端面左侧开设有观察通腔，且观察通腔与监视窗相卡装。

进一步地，所述排水出水管与外界废水处理池入口相连通，所述补水电磁阀上端面通过管道与外界净水储存罐出口相连通。

进一步地，所述PH值检测传感器后端面与循环水箱相贯通。

进一步地，所述循环水管与外界废气处理机冷却液入口相连接，所述循环水箱后端面上侧设置有循环水入口管，且循环水入口管与外界废气处理机冷却液出口相连通。