[实用新型]一种单晶硅拉制炉用炭炭埚邦检测工具

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅拉制炉用炭炭埚邦检测工具，包括竖直板和弧形板，所述竖直板竖直设置，所述弧形板的外边缘与炭炭埚邦内部的标准形状和尺寸均匹配；所述竖直板的底端与所述弧形板的顶端固定连接；且所述竖直板与所述弧形板的外边缘齐平。优点在于：圆锥结构的定位部，可起到对本检测工具的定位作用；手持杆方便转动本检测工具，以便沿周向对炭炭埚邦内壁进行检测；光源可更加直观的检测是否有漏光，如有漏光，以便工作人员进行进一步的检测。本实用新型结构简单，使用方便，制作成本低，可大大提高检测效率和检测精度。

技术领域：

本实用新型涉及单晶硅拉制领域，尤其涉及一种单晶硅拉制炉用炭炭埚邦检测工具。

背景技术：

在单晶炉内的热场中，炭炭埚邦是单晶硅拉制炉热场系统的关键元件之一，主要用于控制热场盛放石英坩埚。

目前，埚邦一般采用炭/炭复合材料，其具有高强度、耐冲刷、寿命长、安全可靠等特点。炭/炭埚邦的制备是由炭纤维预制体经过致密工艺致密化处理、高温处理，并经过机械加工进行制备。在沉积过程中，产品会出现微小的变形，导致加工后会出现中心偏移的情况，导致内R角角度也会出现偏差。

由于炭炭埚邦的内径是与石英坩埚外形进行配合使用，它的内部小口处与石墨埚托进行配合使用。所以，炭炭埚邦内圆尺寸至关重要，如果与相配合的产品出现较大差异，会导致系统出现漏硅现象，损失不可估量。目前，由于没有专业的用来检测炭炭埚邦内部尺寸是否合格的工具，只能由人工对照图纸进行粗略的估测，无法实现有效的检测。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅拉制炉用炭炭埚邦检测工具。

本实用新型由如下技术方案实施：

一种单晶硅拉制炉用炭炭埚邦检测工具，包括竖直板和弧形板，所述竖直板竖直设置，所述弧形板的外边缘与炭炭埚邦内部的标准形状和尺寸均匹配；所述竖直板的底端与所述弧形板的顶端固定连接；且所述竖直板与所述弧形板的外边缘齐平。

进一步的，其还包括定位部；所述定位部为与所述炭炭埚邦的底部的标准形状和尺寸均匹配的圆锥结构，所述定位部与所述弧形板的底端固定连接，且所述定位部与所述弧形板的外边缘齐平。

进一步的，其还包括手持部，所述手持部为竖直设置的手持杆，所述手持杆的底端与所述定位部的顶部固定连接，且所述手持杆与所述定位部同轴设置。

进一步的，在所述竖直板和所述弧形板的一侧均固定设有灯源和电池组，在所述手持杆的顶端设有开关，所述灯源、所述开关与所述电池组电性连接形成闭合回路。

进一步的，所述竖直板和所述弧形板在沿所述炭炭埚邦径向方向上的宽度不小于3cm。

本实用新型的优点：

圆锥结构的定位部，可起到对本检测工具的定位作用；手持杆方便转动本检测工具，以便沿周向对炭炭埚邦内壁进行检测；光源可更加直观的检测是否有漏光，如有漏光，以便工作人员进行进一步的检测。本实用新型结构简单，使用方便，制作成本低，可大大提高检测效率和检测精度。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例的结构示意图。

图中：竖直板1、弧形板2、定位部3、手持杆4、灯源5、电池组6、开关7、炭炭埚邦8。

具体实施方式：