[实用新型]旋转切割组件

说明书

本实用新型公开了一种旋转切割组件，包括：旋转驱动装置、固定在旋转驱动装置输出轴末端的旋转臂和与旋转臂端部连接的可调刀轮组，所述可调刀轮组包括：刀轮安装座、摆动装置、活动板和刀轮；刀轮安装座固定在旋转臂端部，活动板与刀轮安装座之间通过摆动装置连接，刀轮暗转挂在活动板底部，在刀轮安装座远离旋转电机的端设置有U型缺口，摆动装置包括摆动板、摆动轴、调节板、调节丝杠和活动板；摆动板通过摆动轴设置在U型缺口内，摆动轴通过轴承固定在U型缺口的侧壁上，且摆动板与U型缺口相邻的侧壁之间留有余量。

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴膜技术领域，特别是涉及一种旋转切割组件。

背景技术

晶圆经过激光隐切加工，激光束聚焦在晶圆内部，对焦点位置晶圆形成瞬间高温，在晶圆内部形成一系列纵横交错的破坏层，晶圆表面切割道有金属镀层无法正面隐切或晶圆SDBG加工，激光加工过程先将PE膜贴附在晶圆正面，加工过程中，陶瓷载台吸附晶圆表层PE膜，工作台红外相机定位切割道，再经过激光隐切后，再将晶圆放回料仓，再经后期减薄、扩膜、清洗、解胶等工艺，再由贴片机将晶粒从晶圆中移出。

目前在贴膜时，用到的膜为复合膜。复合膜经过放膜机构、移膜机构、切膜机构和贴膜机构。在晶圆上贴附的膜为PE膜。切割后的PE膜的面积往往大于晶圆盘，就会造成不方便将晶圆盘放回料仓盒中。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种能够精准的PE膜进行切割的切割旋转组件。

具体方案如下：

旋转切割组件，包括：旋转驱动装置、固定在旋转驱动装置输出轴末端的旋转臂和与旋转臂端部连接的可调刀轮组，所述可调刀轮组包括：刀轮安装座、摆动装置、活动板和刀轮；刀轮安装座固定在旋转臂端部，活动板与刀轮安装座之间通过摆动装置连接，刀轮暗转挂在活动板底部，在刀轮安装座远离旋转电机的端设置有U型缺口，摆动装置包括摆动板、摆动轴、调节板、调节丝杠和活动板；摆动板通过摆动轴设置在U型缺口内，摆动轴通过轴承固定在U型缺口的侧壁上，且摆动板与U型缺口相邻的侧壁之间留有余量；U型缺口的顶部和底部均固定有调节板，调节板底部开设有与U型缺口相对应的凹槽，顶部开设有调节孔；调节丝杠穿过调节孔并贯穿摆动板，且调节丝杠的 径向面积小于调节孔的径向面积，并与摆动板之间为螺纹连接，丝杠的端部均螺纹连接有蝶形螺母；活动板与摆动板伸出U型缺口的侧壁连接。

蝶形螺母与调节板之间设置有半圆垫片，且半圆垫片穿过调节丝杠，半圆垫片的弧形面与调节板接触。

活动板与摆动板之间连接有缓冲装置，缓冲装置包括缓冲基板、缓冲弹簧、缓冲限位轴、直线导轨和缓冲挡板；缓冲挡板固定在活动板顶部；缓冲基板与摆动轴伸出U型缺口的侧壁连接，缓冲基板与直线导轨的滑块连接，直线导轨中的导轨固定在活动板上；缓冲限位轴穿过缓冲挡板，且一端与活动基板连接，另一端连接有缓冲垫片，缓冲垫片与缓冲挡板之间套设有缓冲弹簧。

活动板底部固定有门型刀轮固定座；刀轮同轴固定有刀轮轴承，通过刀轮销轴转动连接在门型刀轮固定座并通过刀轮卡簧对刀轮进行固定。

旋转驱动装置包括旋转电机、旋转切割刀固定板、电机安装座和旋转轴；电机安装座固定在旋转切割刀固定板，旋转轴固定旋转电机的输出端，并且末端与旋转机械臂连接。本实用新型通过控制调节丝杠使得摆动装置绕摆动轴进行摆动，使得刀轮的角度能够得到精准的调节，方便刀轮对PE膜进行精准的切割，半圆垫片使得在摆动装置的摆动时不会卡死，刀轮在调节角度的过程中，缓冲装置能够防止刀轮升降的过快，造成损伤。

附图说明

图1是全自动贴膜机的结构示意图；

图2是图1的侧视图；

图3是多功能机器人系统结构示意图；

图4是多功能机械手结构示意图；

图5是旋转切割组件的结构示意图；