[实用新型]基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备

说明书

本申请公开了一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备，涉及印刷技术领域。所述紫外固化压印平台包括固化平台、承载板、驱动组件、发光件和透光件；承载板设置在所述固化平台上，承载板开设有开口，开口设置有限位部，承载板设置有多个通孔部，多个通孔部分布在开口的四周，通孔部用于利用气体的吸附力将待压印的基片固定在所述承载板上；透光件设置在开口处，所述限位部用于与透光件限位配合，承载板与透光件的材质不同；发光件用于发出光线；发光件安装在驱动组件上且位于承载板下，驱动组件用于驱动发光件相对承载板运动。本申请实施例旨在旨在提高承载板的稳定性，降低紫外固化压印平台的成本，提高压印效果。

技术领域

本申请涉及印刷技术领域，尤其涉及一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备。

背景技术

纳米压印技术使用机械手段进行图案转移，具有分辨率高、易量产、成本低和工艺简单的优点，是纳米尺寸电子器件的重要制作技术，在硅场效应管、纳米机电系统、微波集成电路、纳米电子器件，纳米集成电路、量子存储器件、光子晶体阵列和OLED平板显示阵列等领域有着广泛的应用。纳米压印技术虽然精度较高，但是压印面积较小，效率较低。

而且，由于现有的紫外固化压印平台一般都是利用一整块石英板来当做承载板，若利用一整块石英板来当做承载板，为了将基片吸附在承载板上，需要在石英板上进行打孔等操作。由于石英板的受力不如金属板，而且石英板并不适合打孔，打孔操作会在石英板内部形成很大的应力，使得石英板在压印过程中很容易离开，影响压印效果，同时利用一整块石英板来做承载板的成本也比较高。

实用新型内容

本申请提供了一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，旨在提高承载板的稳定性，降低紫外固化压印平台的成本，提高压印效果。

第一方面，本申请实施例提供一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，包括固化平台、承载板、驱动组件、发光件和透光件；所述承载板设置在所述固化平台上，所述承载板开设有开口，所述开口设置有限位部，所述承载板设置有多个通孔部，所述多个通孔部分布在所述开口的四周，所述通孔部用于利用气体的吸附力将待压印的基片固定在所述承载板上；所述透光件设置在所述开口处，所述限位部用于与所述透光件限位配合，所述承载板与所述透光件的材质不同；所述发光件用于发出光线；所述发光件安装在所述驱动组件上且位于所述承载板下，所述驱动组件用于驱动所述发光件相对所述承载板运动。

在一些可选的实施例中，所述透光件为石英板，所述承载板的材质采用金属材质。

在一些可选的实施例中，所述透光件的厚度小于所述承载板与所述限位部的厚度差。

在一些可选的实施例中，所述紫外固化压印平台还包括支撑柱，所述支撑柱用于与所述承载板配合，以将所述承载板固定安装在预设高度。

在一些可选的实施例中，所述承载板还包括螺纹孔，所述螺纹孔与支撑柱可拆卸连接，以将所述承载板固定安装在预设高度。

在一些可选的实施例中，所述基片的长度大于所述开口的长度，和/或所述基片的宽度大于所述开口的宽度。

在一些可选的实施例中，所述发光件包括发光灯管和灯罩，所述发光灯管设置在所述灯罩内，所述灯罩安装在所述驱动组件上。

在一些可选的实施例中，所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述压印设备连接，所述第二驱动件与所述第一驱动件连接并位于所述承载板下，所述第二驱动件包括限位槽，所述限位槽面向所述承载板，所述发光件设置在所述限位槽内。

在一些可选的实施例中，所述驱动组件包括驱动电机、第三驱动件和滑动件，所述滑动件设置在滑轨上，所述驱动电机和所述第三驱动件机械耦合连接并带动所述第三驱动件运动，所述第三驱动件运动并带动所述滑动件相对所述滑轨滑动，所述发光件设置在所述滑动件上，并面向所述承载板。