[实用新型]基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备

说明书

本申请公开了一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备，涉及印刷技术领域。所述紫外固化压印平台包括固化平台、承载板、驱动组件和发光件；承载板设置在固化平台上，承载板包括透光件，承载板用于承载待压印的基片；驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件与压印设备连接，第二驱动件与第一驱动件连接并位于承载板下，第二驱动件包括限位槽，限位槽面向承载板；发光件设置在限位槽内，用于发出光线；在压印设备工作时，通过压印设备控制第一驱动件相对承载板运动，并带动第二驱动件跟随第一驱动件相对承载板运动。本申请实施例旨在实现紫外固化与压印同步进行，以提高压印效率，同时也可实现大面积的图形压印。

技术领域

本申请涉及印刷技术领域，尤其涉及一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备。

背景技术

纳米压印技术使用机械手段进行图案转移，具有分辨率高、易量产、成本低和工艺简单的优点，是纳米尺寸电子器件的重要制作技术，在硅场效应管、纳米机电系统、微波集成电路、纳米电子器件，纳米集成电路、量子存储器件、光子晶体阵列和OLED平板显示阵列等领域有着广泛的应用。纳米压印技术虽然精度较高，但是压印面积较小，效率较低。

而且，在图案转移过后，需要对压印了图案的压印胶进行固化，固化通常分为热固化与紫外固化两种。现有的紫外固化压印技术在使用过程中压印与固化往往是分步进行，先压印，后固化，这不利于提高整体的压印效率，也难以实现大面积的图形压印。而且现有的紫外固化压印平台需要大量的材料搭建，同时占用了大量的空间，存在成本较高、空间利用率低的问题，而且发光灯管与压印头的同步性较差，导致压印效果较差。

实用新型内容

本申请提供了一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，旨在实现紫外固化与压印同步进行，以提高压印效率，同时也可实现大面积的图形压印。

第一方面，本申请实施例提供一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，包括固化平台、承载板、驱动组件和发光件；所述承载板设置在所述固化平台上，所述承载板包括透光件，所述承载板用于承载待压印的基片；所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述压印设备连接，所述第二驱动件与所述第一驱动件连接并位于所述承载板下，所述第二驱动件包括限位槽，所述限位槽面向所述承载板；所述发光件设置在所述限位槽内，用于发出光线；在所述压印设备工作时，通过所述压印设备控制所述第一驱动件相对所述承载板运动，并带动所述第二驱动件跟随所述第一驱动件相对所述承载板运动，以使所述发光件发出的光线通过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

在一些可选的实施例中，所述第二驱动件与所述承载板平行，并与所述第一驱动件垂直。

在一些可选的实施例中，所述限位槽的横截面为圆弧形状。

在一些可选的实施例中，所述发光件包括发光灯管和灯罩，所述发光灯管设置在所述灯罩内，所述灯罩与所述限位槽限位配合。

在一些可选的实施例中，所述限位槽内设置有连接口，所述发光灯管与所述连接口电性连接。

在一些可选的实施例中，所述灯罩包括透光部，所述透光部设置在所述灯罩中靠近所述承载板的一侧；其中，所述发光灯管发出的光线通过所述透光部照射到所述透光件上，所述光线透过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

在一些可选的实施例中，所述灯罩开设有缺口，并通过所述缺口形成所述透光部。

在一些可选的实施例中，所述缺口对应的圆周角为45°。

在一些可选的实施例中，所述透光件为石英板。

第二方面，本申请实施例提供一种压印设备，所述压印设备包括如前述的基于丝网印刷的紫外固化压印平台。