[实用新型]一种灯丝强化多弧离子镀高熵合金靶结构装置有效
| 申请号： | 202220203905.9 | 申请日： | 2022-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN216838158U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 许建平;陈晶 | 申请（专利权）人： | 黑龙江工程学院;黑龙江省海振科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150050 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灯丝 强化 离子镀 合金 结构 装置 | ||
1.一种灯丝强化多弧离子镀高熵合金靶结构装置，其特征在于：所述一种灯丝强化多弧离子镀高熵合金靶结构装置包括拼接靶(1)、靶压套(2)、灯丝(3)、上灯丝柱(4)、下灯丝柱(5)、上灯丝盘(6)、下灯丝盘(7)、上灯丝盘绝缘环(8)、下灯丝盘绝缘环(9)、法兰盘(10)、靶水冷腔(11)、绝缘压套(12)、绝缘套(13)、法兰绝缘环(14)、进入管(15)、灯丝电源(16)、靶电源(17)、偏压电源(18)、真空室(19)、真空泵组(20)、工件(21)、工件转架(22)、转轴(23)；
所述拼接靶(1)由多个扇形结构无缝组合而成，拼接靶(1)通过靶压套(2)固定安装在靶水冷腔(11)上，靶水冷腔(11)和法兰盘(10)之间利用绝缘套(13)实现绝缘，靶水冷腔(11)通过绝缘压套(12)可拆卸绝缘密封固定安装在法兰盘(10)上，法兰盘(10)通过法兰绝缘环(14)可拆卸绝缘密封固定安装在真空室(19)侧壁上，灯丝(3)的两端分别可拆卸固定安装在上灯丝柱(4)和下灯丝柱(5)上，上灯丝柱(4)密封焊接在上灯丝盘(6)上，下灯丝柱(5)密封焊接在下灯丝盘(7)上，上灯丝盘(6)通过上灯丝盘绝缘环(8)可拆卸绝缘密封固定安装在真空室(19)顶壁上，下灯丝盘(7)通过下灯丝盘绝缘环(9)可拆卸绝缘密封固定安装在真空室(19)底壁上，进入管(15)紧靠法兰盘(10)并且密封焊接在真空室(19)侧壁上，工件(21)可拆卸固定在工件转架(22)上，工件转架(22)可拆卸安装在转轴(23)上，转轴(23)可拆卸绝缘密封固定安装在真空室(19)底壁上，灯丝电源(16)的阴极和阳极分别连接上灯丝柱(4)和下灯丝柱(5)，靶电源(17)的阴极和阳极分别连接靶水冷腔(11)和真空室(19)侧壁，偏压电源(18)的阴极和阳极分别连接转轴(23)和真空室(19)壁，真空泵组(20)对真空室(19)抽真空。
2.根据权利要求1所述的一种灯丝强化多弧离子镀高熵合金靶结构装置，其特征在于拼接靶(1)扇形结构数量为2～10个。
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