[实用新型]一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具

说明书

本实用新型公开了一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，包括支架、活动板、安装在支架上的固定板，固定板和活动板均设有若干卡爪，固定板和活动板上相邻的两个卡爪之间形成有卡槽，活动板活动安装在固定板上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板沿固定板移动过程中活动板的卡爪会遮挡住固定板上的部分卡槽以装夹不同尺寸的产品。本实用新型具有装夹尺寸可调节，满足不同尺寸产品装夹需求等优点。

【技术领域】

本实用新型属于治具的技术领域，尤其涉及一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具。

【背景技术】

在半导体刻蚀设备以及外延设备中会用到很多精密石英环类部件，这些环类部件基本上都与工艺气体直接接触，因此对该类石英部件的表面清洗有最高的要求，防止因石英表面残留对晶圆表面造成污染，在清洗时需要将石英部件放置在工装治具上进行固定。由于生产工艺的差异，需要将多规格外径的石英环类部件放置在同一条洗净线进行清洗。现有的工装治具存在只能装夹一种规格尺寸的石英环类部件装夹，装夹尺寸不易调节，影响洗净效率等问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的就是解决背景技术中的问题，提出一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，能够使装夹尺寸可调节，满足不同尺寸产品装夹需求。

为实现上述目的，本实用新型提出了一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，包括支架、活动板、安装在支架上的固定板，所述固定板和活动板均设有若干卡爪，固定板和活动板上相邻的两个卡爪之间形成有卡槽，所述活动板活动安装在固定板上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板沿固定板移动过程中活动板的卡爪会遮挡住固定板上的部分卡槽以装夹不同尺寸的产品。

作为优选，所述固定板上设有导向柱，所述活动板上设有滑槽，活动板安装在固定板后导向柱配合穿过滑槽，活动板移动过程中导向柱沿滑槽线性移动。

作为优选，所述紧固件为锁紧螺母，所述导向柱上设有外螺纹，锁紧螺母与导向柱螺纹连接。

作为优选，工装治具还包括支撑座和活动座，所述支撑座的两端安装在支架上并位于固定板的下方，所述活动座活动安装在支撑座上，所述活动座和支撑座上均设有限位安装槽。

作为优选，所述活动座上设有导向滑槽，所述支撑座上设有导柱，所述活动座安装在支撑座后导柱配合穿过导向滑槽，活动座移动过程中导柱沿导向滑槽线性移动。

作为优选，所述导柱外侧设有螺纹，所述导柱沿导向滑槽线性移动一定位置后用螺母锁紧。

作为优选，所述支撑座上设有若干螺纹孔，所述活动座上设有定位孔，所述活动座沿支撑座移动一定距离后用锁紧螺栓锁紧，锁紧螺栓配合安装在螺纹孔和定位孔上。

作为优选，所述限位安装槽的数量和卡槽的数量相同。

作为优选，所述固定板和活动板上的卡爪与支架的水平面之间呈锐角设置，卡爪的长度为100～150mm。

作为优选，所述支架包括左墙板、右墙板和底板，所述左墙板和右墙板安装在底板上，所述固定板的左、右端分别安装在左墙板和右墙板的内侧。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过将活动板活动安装在固定板上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板沿固定板移动过程中活动板的卡爪会遮挡住固定板上的部分卡槽，实现工装治具装夹尺寸的调节，满足不同尺寸产品装夹需求，提高清洗效率。

本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。

【附图说明】

图1是一种实施例的结构示意图；

图2是一种实施例的局部示意图；

图3是一种实施例的固定板示意图；

图4是一种实施例的活动板示意图；