[实用新型]一种用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具有效

专利信息
申请号: 202220090142.1 申请日: 2022-01-13
公开(公告)号: CN216696840U 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 屈哲;高震宇 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: G02B21/34 分类号: G02B21/34
代理公司: 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 代理人: 郭华俊
地址: 230031 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 二维 材料 自动 扫描 金相 显微镜 夹具
【权利要求书】:

1.一种用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述金相显微镜夹具包括与扫描平台固定的底板(1)和N个样品托盘(3),其中N为正整数;

所述底板(1)上安装有托盘支座(2);

所述样品托盘(3)通过限位装置固定在所述托盘支座(2)上。

2.根据权利要求1所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述托盘支座(2)上设置有若干个与所述样品托盘(3)形状相对应的凹槽(21)。

3.根据权利要求2所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述凹槽(21)的边缘相对开设有导槽(22)。

4.根据权利要求1所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述限位装置包括设置在托盘支座(2)上的定位孔(23)和设置在所述样品托盘(3)底部的凸起(31)。

5.根据权利要求4所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述定位孔(23)的形状为倒锥形;

所述凸起(31)为与所述定位孔(23)相对应的圆锥台。

6.根据权利要求5所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述托盘支座(2)为圆角长方形金属块,所述定位孔(23)的开孔直径为6±0.05mm,锥角为40°,两个孔的圆心间距为52.0±0.05mm。

7.根据权利要求6所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述样品托盘(3)为圆角正方形结构。

8.根据权利要求7所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,

所述圆锥台锥底面直径为6±0.05mm,锥高为3±0.05mm,倾斜角为40°,相邻两个圆锥的圆心间距为52.0±0.05mm。

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