[实用新型]一种用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具有效
申请号: | 202220090142.1 | 申请日: | 2022-01-13 |
公开(公告)号: | CN216696840U | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 屈哲;高震宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G02B21/34 | 分类号: | G02B21/34 |
代理公司: | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人: | 郭华俊 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 二维 材料 自动 扫描 金相 显微镜 夹具 | ||
1.一种用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述金相显微镜夹具包括与扫描平台固定的底板(1)和N个样品托盘(3),其中N为正整数;
所述底板(1)上安装有托盘支座(2);
所述样品托盘(3)通过限位装置固定在所述托盘支座(2)上。
2.根据权利要求1所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述托盘支座(2)上设置有若干个与所述样品托盘(3)形状相对应的凹槽(21)。
3.根据权利要求2所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述凹槽(21)的边缘相对开设有导槽(22)。
4.根据权利要求1所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述限位装置包括设置在托盘支座(2)上的定位孔(23)和设置在所述样品托盘(3)底部的凸起(31)。
5.根据权利要求4所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述定位孔(23)的形状为倒锥形;
所述凸起(31)为与所述定位孔(23)相对应的圆锥台。
6.根据权利要求5所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述托盘支座(2)为圆角长方形金属块,所述定位孔(23)的开孔直径为6±0.05mm,锥角为40°,两个孔的圆心间距为52.0±0.05mm。
7.根据权利要求6所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述样品托盘(3)为圆角正方形结构。
8.根据权利要求7所述的用于硅基二维材料自动扫描的金相显微镜夹具,其特征在于,
所述圆锥台锥底面直径为6±0.05mm,锥高为3±0.05mm,倾斜角为40°,相邻两个圆锥的圆心间距为52.0±0.05mm。
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