[实用新型]振镜加工装置及激光加工设备

权利要求书

1.一种振镜加工装置，其特征在于，包括横梁、升降机构、多个微调组件和多个振镜，所述升降机构设置于所述横梁上，多个所述微调组件沿所述横梁的延伸方向间隔设置于所述升降机构上，多个所述振镜一一对应地设置于多个所述微调组件上，各所述微调组件分别用于调节对应设置在其上的所述振镜在竖直方向上的位置。

2.根据权利要求1所述的振镜加工装置，其特征在于，所述微调组件包括驱动件、第一丝杆和第一滑座，所述第一丝杆竖直设置于所述升降机构上，所述振镜通过所述第一滑座设置于所述第一丝杆上，所述第一滑座与所述第一丝杆螺纹配合，所述驱动件用于驱动所述第一丝杆转动，以带动所述第一滑座升降，进而带动对应设置在其上的所述振镜升降。

3.根据权利要求2所述的振镜加工装置，其特征在于，所述驱动件为手轮，所述手轮与所述第一丝杆连接。

4.根据权利要求2或3所述的振镜加工装置，其特征在于，所述微调组件还包括第一导向件，所述第一导向件包括第一导轨和设置在所述第一导轨上的第一滑块，所述第一导轨位于所述升降机构上；所述振镜通过所述第一滑块可滑动地与所述第一导轨连接。

5.根据权利要求4所述的振镜加工装置，其特征在于，所述第一滑块上设置有安装件，所述安装件包括固定架和调节板，所述固定架与所述第一滑块连接，所述调节板安装于所述固定架上，所述振镜安装于所述调节板上。

6.根据权利要求5所述的振镜加工装置，其特征在于，所述调节板通过调节螺栓安装于所述固定架上。

7.根据权利要求1所述的振镜加工装置，其特征在于，所述升降机构包括电机、第二丝杆、第二滑座和基板，所述电机和所述第二丝杆设置于所述横梁上，所述第二丝杆竖直设置，所述基板通过所述第二滑座设置于所述第二丝杆上，所述第二滑座与所述第二丝杆螺纹配合；所述电机与所述第二丝杆连接，用于驱动所述第二丝杆转动，以带动所述第二滑座升降，进而带动所述基板升降。

8.根据权利要求7所述的振镜加工装置，其特征在于，所述升降机构还包括第二导向件，所述第二导向件包括多个并排设置于所述横梁上的第二导轨和设置在所述第二导轨上的第二滑块，所述基板通过所述第二滑块可滑动地与所述第二导轨连接。

9.根据权利要求7所述的振镜加工装置，其特征在于，多个所述微调组件沿所述基板的延伸方向间隔设置于所述基板上。

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的振镜加工装置。