[实用新型]一种快速启动短弧水银灯

说明书

本实用新型涉及水银灯技术领域，提供一种快速启动短弧水银灯，包括灯体以及设置在灯体内的电极；所述电极包括相对设置的阳极和阴极，灯体内封有水银和氙气；灯体两端分别具有密封部；所述阳极和阴极分别连接电极支撑棒；所述电极支撑棒上套设中间支承部；所述电极支撑棒底端设置电极支承棒保持部；所述中间支承部和电极支承棒保持部之间连接有前金属板；所述电极支承棒保持部的后端设置后金属板，所述电极支承棒保持部的外周设置多个金属箔；所述金属箔与后金属板电连接；所述后金属板上设置用于连接外部电力的后方外部棒；所述阴极的电极支撑棒上套设蒸发促进部。本实用新型快速启动短弧水银灯具有良好的起动特性，缩短水银灯的启动时间。

技术领域

本实用新型涉及水银灯技术领域，尤其涉及一种快速启动短弧水银灯。

背景技术

作为半导体和液晶的制造过程，其中有利用曝光技术的曝光工序。对于曝光装置上安装的主要光源，作为发光物质的水银被封入在短弧水银灯中使用。

目前为了加快从点灯开始到水银蒸发直至稳定的时间，即缩短所谓的起动时间，采取了各种对策。普遍采用的方式是通过尽可能延长从阳极前端到固定在阳极支撑棒上的金属板的距离，以及从阴极前端部到固定在阴极支撑棒上的金属板的距离之和。

但是，在垂直方向点亮的短弧水银灯中，在将从下侧的电极前端到固定在电极支撑棒上的金属板的距离设定得长的情况下，起动变慢，灯变大的话，这情况更加明显。考虑其原因是由于下侧灯内根部空间附近的支承棒的温度过低，所以在点亮开始时无法有效地提高该空间部积存的水银的温度造成的。

实用新型内容

本实用新型主要解决现有技术的短弧水银灯起动变慢的技术问题，提出一种快速启动短弧水银灯，以使水银短电弧灯具有良好的起动特性，缩短水银短电弧灯的启动时间。

本实用新型提供了一种快速启动短弧水银灯，包括灯体以及设置在灯体内的电极；所述电极包括相对设置的阳极和阴极，所述灯体内封有水银和氙气；

所述灯体两端分别具有密封部；

所述阳极和阴极分别连接电极支撑棒；

所述电极支撑棒上套设中间支承部；所述电极支撑棒底端设置电极支承棒保持部；所述中间支承部和电极支承棒保持部之间连接有前金属板；

所述电极支承棒保持部的后端设置后金属板，所述电极支承棒保持部的外周设置多个金属箔；所述金属箔与后金属板电连接；所述后金属板上设置用于连接外部电力的后方外部棒；

所述阴极的电极支撑棒上套设蒸发促进部；所述蒸发促进部位于阴极和阴极的中间支承部之间，并靠近阴极根部。

优选的，所述蒸发促进部采用多个依次间隔设置的圆盘部件。

优选的，所述圆盘部件采用钼箔制成；所述圆盘部件的数量为10片，各圆盘部件的间距为1mm；

所述圆盘部件的外径为20㎜、内径为8mm，厚度设为1mm。

优选的，所述蒸发促进部采用线圈部件。

优选的，所述线圈部件的长度为20mm，外径为11.2mm，内径为8mm。

优选的，所述电极支撑棒的直径为8mm。

优选的，所述阳极和阴极之间的距离为10mm。

优选的，所述灯体内水银量为50mg/cc，气体压强为700Torr。

优选的，所述中间支承部采用串珠。

优选的，所述密封部的外端设置金属帽；

所述后方外部棒连接在金属帽上。