[发明专利]一种降低真空密封用橡胶密封垫放气量的方法

说明书

本发明公开了一种降低真空密封用橡胶密封垫放气量的方法，所述方法包括：步骤1，在绝对压力小于30Pa、温度为所述橡胶密封垫允许最高使用温度的条件下，对橡胶密封垫进行时长为24～200小时的真空干燥；步骤2，对橡胶密封垫进行高温真空干燥结束后，将橡胶密封垫置于大气环境下，将橡胶密封垫安装到目标安装位置，并使目标安装位置处于真空环境或充入干燥的中性气体。本发明在橡胶密封垫安装到目标安装位置之前，能够除去橡胶密封垫的挥发性成分，同时，减少在真空干燥处理后橡胶密封垫对空气中水分的吸收，降低橡胶密封垫在真空系统中的放气量。

技术领域

本发明涉及真空密封技术领域，尤其涉及一种降低真空密封用橡胶密封垫放气量的方法。

背景技术

真空管道、阀门、设备的密封形式有多种，橡胶密封是较为常见的一种。橡胶密封具有价格便宜、密封性能好、拆装方便等特点。但在长期运行过程中橡胶密封材料会挥发出微量的水蒸气及有机气体，与真空管道内的工艺气体，例如半导体工业中使用的六氟化钼、六氟化钨、三氟化硼等化学性质活泼的气体，发生化学反应。这不仅导致工艺气体被消耗、还导致杂质气体及固体粉末的产生，并引起真空系统内各种材料的腐蚀加重，影响真空系统的各项性能。

一般的，真空橡胶密封垫在生产过程中需经过干燥处理，以除去加工过程中引入的水分，但干燥过程时间较短、温度较低，而且均在大气条件下进行，因此仅能去除部分沸点较低的有机物和一部分水分。而且由于橡胶密封垫在生产后长期在大气环境下存放，空气中的水分会吸附在橡胶密封垫表面的空隙结构内。当将这些橡胶密封垫，在真空系统内长时间的使用过程中，仍有较多的可挥发成分释放进入工艺管道中，与工艺气体发生反应。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的技术缺陷，而提供一种降低真空密封用橡胶密封垫放气量的方法。

为实现本发明的目的所采用的技术方案是：

一种降低真空密封用橡胶密封垫放气量的方法，所述方法包括：

步骤1，在绝对压力小于30Pa、温度为所述橡胶密封垫允许最高使用温度的条件下，对橡胶密封垫进行时长为24～200小时的真空干燥；

步骤2，对橡胶密封垫进行高温真空干燥结束后，将橡胶密封垫置于大气环境下，将橡胶密封垫安装到目标安装位置，并使目标安装位置处于真空环境或充入干燥的中性气体。

在上述技术方案中，所述步骤2中使目标安装位置处于真空环境包括：所述目标安装位置处于绝对压力小于30Pa的条件下。

在上述技术方案中，所述步骤2中将橡胶密封垫置于大气环境下的时长不能超过48小时。

在上述技术方案中，所述橡胶密封垫包括材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫和材质为B型橡胶的真空橡胶密封垫；所述材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫，允许最高使用温度为100°С；所述材质为B型橡胶的真空橡胶密封垫，允许最高使用温度为250°С。

一种降低真空密封用材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫放气量的方法，所述方法包括：

步骤1，将材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫放置于可加热的真空容器中；

步骤2，使用真空泵连续抽空容器，使容器内绝对压力小于30Pa，将所述橡胶密封垫加热至50℃，并维持120小时；

步骤3，对材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫进行高温真空干燥结束后的24小时内，将材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫安装在真空系统管道上，并在管道内部充入干燥的氮气。

在上述技术方案中，对材质为A型橡胶的真空橡胶密封垫进行高温真空干燥结束后，将所述橡胶密封垫从容器中取出并对其进行称重，若所述橡胶密封垫的重量比高温真空干燥结束前的橡胶密封垫的重量降低了0.3％，则表示有挥发性成分在真空干燥过程中从橡胶密封垫中溢出。