[发明专利]一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法

权利要求书

1.一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一：首先，选择一块凸面研磨盘和一块凹面研磨盘，将初始研磨基准面进入凸面研磨盘或者凹面研磨盘进行研磨加工，直至研磨基准面全部表面研磨完全，且将所述研磨基准面划多个同心环带，环带宽2-3mm，当检测结果显示每个环带的平面度都优于平面度指标要求，则认为此阶段的研磨结束；研磨过程中检测研磨表面，并记录研磨基准面在研磨盘上的滑动距离L₁，对研磨后基准面表面进行检测，确定基准面内外环边缘已经形成稳定均匀的高低差△h₁，规定△h₁为正；

步骤二：将经步骤一研磨后、高低差△h₁为正的研磨基准面放入第二块研磨盘上进行研磨加工，直至研磨基准面全部表面研磨完全，且将所述研磨基准面划多个同心环带，环带宽2-3mm，当检测结果显示每个环带的平面度都优于平面度指标要求，则认为此阶段的研磨结束；记录所述研磨基准面在第二块研磨盘上的滑动距离L₂，对研磨后基准面表面进行检测，确定基准面内外环边缘已经形成稳定均匀的高低差△h₂；

步骤三：判断△h₂是否处于指标要求误差范围内，若是，则结束研磨，若否，则判断△h₂是正是负，若△h₂为正，则将研磨基准面放在第二块研磨盘上进行研磨加工，直至研磨基准面全部表面研磨完全为止，若△h₂为负，则将研磨基准面放在第一块研磨盘上进行研磨加工，每一研磨阶段结束后进行检测，直至研磨基准面内外边缘形成稳定均匀的高低差处于指标要求误差范围内。

2.根据权利要求1中所述的一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法，其特征在于，所述步骤一至步骤三中基准面内外环边缘形成稳定均匀的高低差检测工具为三坐标测量机。