[发明专利]一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵

权利要求书

1.一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，包括磁悬浮电机（12），其特征在于：所述磁悬浮电机（12）的转子上靠近其两端位置处分别设置有叶轮（4）和平衡轮（5），磁悬浮电机（12）上靠近叶轮（4）的位置处设置有蜗壳（13），磁悬浮电机（12）上靠近平衡轮（5）的位置处设置有风冷扩散器（9），蜗壳（13）的进气端与风冷扩散器（9）之间连通有两级连接管道（2），蜗壳（13）的进气端连通有冷却管道（3），冷却管道（3）的另一端与磁悬浮电机（12）的内腔连通。

2.根据权利要求1所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述蜗壳（13）的进气端上连通有扩散器（8），所述扩散器（8）的另一端连通有入口接头（1），所述入口接头（1）上开设有两个圆孔，且两个圆孔外侧分别安装有第一宝塔接头（11），两个第一宝塔接头（11）分别位于入口管道（1）的侧面与正下方。

3.根据权利要求2所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述两级连接管道（2）远离风冷扩散器（9）的一端与侧面的第一宝塔接头（11）连通；冷却管道（3）远离磁悬浮电机（12）的一端与正下方的第一宝塔接头（11）连通。

4.根据权利要求3所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述磁悬浮电机（12）内位于叶轮（4）的后方安装有风冷叶轮座（10），平衡轮（5）的轮背侧加工有多个的密封齿，密封齿与风冷叶轮座（10）上的密封配合齿相互交错，形成宫型密封。

5.根据权利要求4所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述风冷扩散器（9）安装与平衡轮（5）远离风冷叶轮座（10）的一侧，风冷扩散器（9）的左侧轮廓与平衡轮（5）的右侧轮廓相贴合。

6.根据权利要求5所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述风冷扩散器（9）远离磁悬浮电机（12）的一侧固定安装有冷却风转接头（21），所述两级连接管道（2）远离入口接头（1）的一端与冷却风转接头（21）连通。

7.根据权利要求6所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述磁悬浮电机（12）上远离蜗壳（13）的一侧固定安装有风冷底座（6），所述风冷底座（6）上靠近其底部位置处开设有散热孔（7），该散热孔（7）与磁悬浮电机（12）的内腔连通。

8.根据权利要求7所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述冷却管道（3）远离第一宝塔接头（11）的一端连接有第二宝塔接头（14），所述第二宝塔接头（14）与风冷底座（6）上的散热孔（7）连通。

9.根据权利要求8所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述叶轮（4）转动通过两级连接管道（2）吸入平衡轮（5）前端的气体，平衡轮（5）轮背压力大于轮前端压力，平衡轮（5）受到一个方向向右的轴向力F2。

10.根据权利要求9所述的一种自带轴向力平衡系统的磁悬浮真空泵，其特征在于：所述叶轮（4）的轮背侧压力大于轮前端压力，叶轮（4）受到一个方向向左的轴向力F1，所述轴向力F2与轴向力F1方向相反。