[发明专利]ICP分析装置和ICP分析方法

说明书

本发明涉及ICP分析装置和ICP分析方法，该ICP分析装置在ICP分析中能够自动地执行从装置的校正到试样分析，具有：混合部，其具有两个入口端和一个出口端；共用流路，其一端与ICP部连接，另一端与出口端连接；主流路，其一端与入口端中的一个连接；自动采样器，其与主流路的另一端连接；流路切换部，其将一个出口与多个入口中的任一个连接；副流路，其一端与混合部的其余入口端连接，另一端与出口连接；校正液配管，其一端插入到校正液容器中，另一端与入口中的一个连接；内标准配管，其一端插入到内标元素溶液容器中，另一端与另一入口连接；一台蠕动泵，其输送主流路和副流路内的液体；以及控制部，其控制自动采样器和流路切换部。

技术领域

本发明涉及ICP(Inductively Coupled Plasma：电感耦合等离子体)分析装置和ICP分析方法。

背景技术

在ICP质量分析装置中，将液态的试样雾化后向电感耦合等离子体焰中导入，使该试样中的目标元素离子化，将生成的离子用于质量分析，由此进行该试样的定性分析、定量分析。另外，在ICP发光分光分析装置中，将液态的试样雾化后向电感耦合等离子体焰中导入，对该试样中的目标元素被加热激发而产生的光进行分光分析，由此进行该试样的定性分析、定量分析。在此，将ICP质量分析装置和ICP发光分光分析装置等利用电感耦合等离子体的分析装置统称为ICP分析装置，将使用了这些装置的分析统称为ICP分析。

在ICP分析装置中，由于试样所含有的目标元素以外的其他成分的影响，使试样的粘性和挥发性等物理性质变化，由此使试样的送液、喷雾的状况变化，而对分析结果造成影响(将这样的现象称为物理干涉)。为了修正这样的物理干涉带来的影响，在利用ICP分析装置的定量分析中，将以预定的浓度含有预定的内标元素的内标元素溶液以预定量添加到液态的试样中，然后进行该试样的ICP分析，基于目标元素和内标元素的检测强度比求出该试样中的目标元素的浓度。然而，在同时分析多个试样的情况下，通过手工作业向各试样中添加一定量的内标元素溶液是烦杂的。因此开发了具备向试样中自动地添加内标元素溶液的机构的ICP分析装置(例如参照专利文献1)。

这样的具备内标元素溶液的自动添加机构的ICP分析装置具备：主流路，其用于采集液态的试样；副流路，其用于采集内标元素溶液；以及共用流路，其经由由T字管等构成的混合部与所述主流路和所述副流路连结。经由所述主流路采集的液态的试样和经由所述副流路采集的内标元素溶液在所述混合部汇合而混合，经由所述共用流路向用于形成等离子体焰的焰炬(等离子体焰炬)导入。

在具有上述结构的ICP分析装置中，在所述主流路和所述副流路配设有用于压送构成各流路的软质管内的液体的蠕动泵。蠕动泵通过伴随着转子的旋转而蠕动地挤压软质管，从而压送该管内的液体，在其结构上，送液量周期性地变化。因此，在所述主流路和所述副流路各设置一台蠕动泵的情况下，由于各蠕动泵中的转子的旋转周期的偏差，使导入到等离子体焰炬的试样液体与内标元素溶液的混合比产生波动，使定量值产生偏差。

因此，为了防止这样的混合比的波动，有时利用一台多通道蠕动泵进行所述主流路中的试样液体的送液和所述副流路中的内标元素溶液的送液。在多通道蠕动泵中，能够沿着转子的外周配置多个软质管，因此通过使用该泵，能够使与各管的内径对应的流量的液体以同一周期在构成主流路的管和构成副流路的管中流动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-061574号公报

发明内容

发明要解决的问题