[发明专利]一种探针台显微镜调节装置

权利要求书

1.一种探针台显微镜调节装置，用于将显微镜调节至其轴线与产品载台垂直，其特征在于，所述探针台显微镜调节装置包括：

固定架，固定设置在操作台处；

第一调节机构，包括第一连接板和第一调节板，所述第一连接板与所述固定架固定连接，所述第一调节板配置成可相对于所述第一连接板绕第一轴线转动；以及

第二调节机构，包括第二连接板和第二调节板，所述第二连接板直接或间接地与所述第一调节板连接，所述第二调节板与所述显微镜固定连接，所述第二调节板配置成可相对于所述第二连接板绕第二轴线转动，所述第一轴线和所述第二轴线均水平布置且互相垂直。

2.根据权利要求1所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第一调节机构还包括：

第一转轴，穿设于所述第一连接板和所述第一调节板之间；

第一顶出机构，其一端与所述第一调节板相连，用于施加促使所述第一调节板绕所述第一转轴转动的作用力；

所述第一连接板和第一调节板之间还通过多个第一紧固件相连，且多个所述第一紧固件配置成在所述第一调节板进行转动调节时拧松，在所述第一调节板调节至目标位置时拧紧。

3.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，

所述第一连接板处设有第一螺纹孔，所述第一调节板处设有第一安装孔，所述第一安装孔的尺寸大于所述螺纹孔的尺寸。

4.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第一顶出机构包括：

第一固定板，与所述第一连接板固定连接，所述第一固定板处还设有第二螺纹孔；

第一调节件，与所述第二螺纹孔配合且其一端与所述第一调节板抵接。

5.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，

所述第一转轴和所述第一顶出机构分别位于所述第一调节板的两端。

6.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，

所述第一顶出机构用于提供沿竖向的作用力。

7.根据权利要求1所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第二调节机构还包括：

第二转轴，穿设于所述第二连接板和所述第二调节板之间；

第二顶出机构，其一端与所述第二调节板相连，用于施加促使所述第二调节板绕所述第二转轴转动的作用力；

所述第二连接板和第二调节板之间还通过多个第二紧固件相连，且多个所述第二紧固件配置成在所述第二调节板进行转动调节时拧松，在所述第二调节板调节至目标位置时拧紧。

8.根据权利要求7所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，

所述第二顶出机构用于提供沿水平方向的作用力；

所述第二调节机构还包括缓冲件，所述缓冲件与所述第二顶出机构分别位于所述第二调节板沿水平方向上的两侧。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，

所述第一连接板和所述固定架之间具有预设面积的接触面且通过多个锁紧紧固件相连。

10.根据权利要求9所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，还包括第一滑动组件、第二滑动组件和第三滑动组件；

所述第一滑动组件设置于所述第一调节板与所述第二连接板之间，使得所述第二连接板可沿第一方向相对于所述第一调节板滑动；

所述第二滑动组件设置于所述固定架与所述第三滑动组件之间，使得所述第三滑动组件可沿第二方向相对于所述固定件滑动；

所述第三滑动组件设置于所述第二滑动组件和所述第一连接板之间，使得所述第一连接板可沿第三方向相对于所述第二滑动组件滑动；其中，

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两互相垂直。