[发明专利]环境检测系统

说明书

本申请公开了一种环境检测系统，该环境检测系统包括数据采集装置、无线连接装置、中心控制装置和异常警示装置，数据采集装置和异常警示装置分别通过无线连接装置与中心控制装置连接，数据采集装置用于采集当前的环境数据，并通过无线连接装置将环境数据发送至中心控制装置，中心控制装置用于判断环境数据是否异常，并在环境数据异常时，通过无线连接装置发送异常信号至异常警示装置，异常警示装置用于在接收到异常信号时，发出警示信息。本方案可以提高环境检测效率。

技术领域

本申请涉及环境检测技术领域，具体涉及一种环境检测系统。

背景技术

随着半导体制造工艺的发展，半导体的制造工艺已经进入纳米级，产品对生产环境的洁净度要求也在逐步提高。如果芯片在生产过程中不能按照规定的洁净度要求生产，对其性能会有严重的影响。因此需要实时管控生产环境的洁净度。

由于不同工序区间对洁净度等级要求不一致，不同工序区间一般使用隔墙板（Partitional wall)分隔开。由于环境复杂，只能依靠人力手持微粒检测仪（ParticleCounter）在各个工序区间进行洁净度检测，然后将收集到的数据人工进行整理，汇总并记录，由此进行每日的管控。

然而，依靠人力对生产环境进行管控不仅费时费力，检测结果的准确性也较差。

发明内容

本申请提供了一种环境检测系统，可以提高环境检测效率。

本申请提供了一种环境检测系统，包括数据采集装置、无线连接装置、中心控制装置和异常警示装置，所述数据采集装置和所述异常警示装置分别通过所述无线连接装置与所述中心控制装置连接，所述数据采集装置用于采集当前的环境数据，并通过所述无线连接装置将所述环境数据发送至所述中心控制装置，所述中心控制装置用于判断所述环境数据是否异常，并在所述环境数据异常时，通过所述无线连接装置发送异常信号至所述异常警示装置，所述异常警示装置用于在接收到所述异常信号时，发出警示信息。

在本申请提供的环境检测系统中，所述数据采集装置包括环境数据采集模块、位置信息采集模块和数据封装模块，所述数据封装模块分别与所述环境数据采集模块、所述位置信息采集模块连接，所述环境数据采集模块用于采集当前的环境数据，并将所述环境数据发送至所述数据封装模块，所述位置信息采集模块用于采集当前的位置信息，并将所述位置信息发送至所述数据封装模块，所述数据封装模块用于对所述环境数据和所述位置信息进行封装，并将封装数据发送至所述中心控制装置。

在本申请提供的环境检测系统中，所述环境数据采集模块包括微粒检测模组、空气质量检测模组、光照检测模组、风速检测模组、温度传感器和湿度传感器中的至少一个。

在本申请提供的环境检测系统中，所述空气质量检测模组包括PM2.5数据检测单元、二氧化碳浓度检测单元、一氧化氮浓度检测单元和污染物气体浓度检测单元中的至少一个。

在本申请提供的环境检测系统中，所述光照检测模组包括光照强度检测单元、能见度检测单元和紫外线检测单元中的至少一个。

在本申请提供的环境检测系统中，所述风速检测模组包括风速检测单元和/或风向检测单元。

在本申请提供的环境检测系统中，所述微粒检测模组包括无人搬运车和微粒检测仪，所述微粒检测仪放置于所述无人搬运车上，所述无人搬运车和所述微粒检测仪分别通过所述无线连接装置与所述中心控制装置连接。

在本申请提供的环境检测系统中，所述环境检测系统还包括移动终端，所述移动终端通过所述无线连接装置与所述异常警示装置连接，所述移动终端用于接收所述警示信息，并对所述警示信息进行显示。

在本申请提供的环境检测系统中，所述无线连接装置包括无线局域网、WiFi和4G/5G信号中的至少一个。

在本申请提供的环境检测系统中，所述异常警示装置包括异常发送模块和警示灯。