[发明专利]真空机组

说明书

本发明公开了真空机组，涉及真空机组技术领域，解决了对真空机组进行降温时效果不佳的问题，包括安装基座，还包括固定连接在所述安装基座顶部表面上的真空机组真空机组主体，所述真空机组真空机组主体外缘面上套接有环形空腔，所述安装基座顶部固定连接有水箱，所述水箱底部表面上配合连接有底端插接在环形空腔顶部空挡内的冷却管B，通过使降低了温度的水在循环泵的作用下在水箱和环形空腔内进行循环往复的流动使，就能使水能够吸收更多的热量，从而提高对真空机组真空机组主体的散热效果。

技术领域

本发明涉及真空机组技术领域，具体为真空机组。

背景技术

真空机组是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

目前，真空机组在进行工作时，由于进气侧和排气侧的压差较大，而当进气侧的入口压力高于1Torr时，出口与入口的压力差可能达到15－20Torr，或更高，由于真空机组的功率是与压差成正比的，因此，压差越大，真空机组的运行工作功率就越大，因此排气温度，泵内零件的温度，特别是转子的温度会随之增加，此时就要对真空机组进行散热，而现有的真空机组采用的内盘式的冷却方式，结构安装较为复杂，且散热效果不佳，因此有人提出了一种散热效果较好的真空机组，例如公开号：CN216278504U公开的循环水冷却式罗茨泵，该罗茨泵包括罗茨泵泵体，所述罗茨泵泵体的外壳壳壁内设有冷却水流道，罗茨泵泵体的外壳上设有冷却水进水口和冷却水出水口，冷却水进水口和冷却水出水口均与冷却水流道相连通，罗茨泵泵体的外壳上设有抽真空口。本发明通过在罗茨泵泵体的外壳壳壁内设置冷却水流道，实现全包裹式的水冷结构，简化了结构，提高了散热效率。

但是，上述地对真空机组的散热结构在通过循环水来对罗茨泵泵体内的热量进行吸收时，由于水的比热容较大，因此冷却水能很好地对罗茨泵内产生的热量进行吸收，但是也由于水的比热容较大，所以冷却水内吸收而来的热量不容易向外界辐射，这样就导致了在通过冷却水对罗茨泵内的热量吸收一段时间后，冷却水的热量升高，不再能够吸热，此时地对罗茨泵的散热效果降低，乃至失去散热效果，后续在罗茨泵的工作时就容易导致过热而出现损坏，因此，设计出一种真空机组很有必要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种散热效果较好的真空机组，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：真空机组，包括安装基座，还包括固定连接在所述安装基座顶部表面上的真空机组真空机组主体，所述真空机组真空机组主体外缘面上套接有环形空腔，所述安装基座顶部固定连接有水箱，所述水箱底部表面上配合连接有底端插接在环形空腔顶部空挡内的冷却管B，所述环形空腔远离冷却管B的外缘表面上配合安装有顶部端口与水箱表面配合连接的冷却管A，所述冷却管A上设置有循环泵。

优选的，所述水箱顶部安装有对水箱内水进行降温的半导体制冷片，所述水箱一侧内壁表面上固定连接有挡板，且所述挡板一侧端口与所述水箱另一侧内壁表面之间留有一定的空隙，当降低了温度的水在循环泵的作用下在水箱和环形空腔内进行循环往复的流动使，就能使水能够吸收更多的热量，从而提高对真空机组真空机组主体的散热效果，且通过阻隔板的阻隔，能够防止吸收了热量而导致温度升高的冷却水直接与水箱内未能吸热温度较低的水的直接接触，使其能够缓慢地对水箱内温度降低的水相接触，防止水箱内的水直接与吸收了热量的水相接触而导致温度急速升高，从而影响冷却水对真空机组真空机组主体表壁热量的吸收效果，实用性较高。

优选的，所述水箱一侧外缘表面上固定连接有降温仓，所述降温仓顶部安装有对半导体制冷片热端进行降温的散热风机，所述散热风机的进气口延伸至降温仓内，所述降温仓一侧表面上构造有能够进气的进气口，通过散热风机吹出的气流能够加速半导体制冷片热端的气体流动，从而达到对半导体制冷片热端的制冷效果。