[发明专利]基于计算全息器件的离轴自由曲面光谱仪系统的装调设备

权利要求书

1.基于计算全息器件的离轴自由曲面光谱仪系统的装调设备，包括装调设备，其特征在于：所述装调设备由干涉仪(1)、衰减片(2)、计算全息器件(3)、光谱仪模块(4)、六维调节架(12)、金属垫块(13)、气浮平台(14)组成，其中光谱仪模块(4)由光谱仪框架(5)、第一反射镜框(6)、光栅镜框(7)、第三反射镜框(8)、第一反射镜(9)、光栅(10)、第三反射镜(11)、第二反射镜(15)、第二反射镜框(16)、标准球面镜(17)组成，并且通过以下步骤完成装调：

步骤一，利用六维调节架(12)和金属垫块(13)将干涉仪(1)、衰减片(2)CGH(3)、光谱仪模块(4)安装在气浮平台(14)，将光轴通过直尺等测量方式初步调到等高状态；

步骤二，干涉仪(1)发出的光入射到CGH(3)的第一个对准全息区域(3-5)，反射后回到干涉仪(1)，形成干涉条纹，调整六维调节架(12)使得第一个对准全息区域(3-5)出现零条纹，固定六维调节架(12)；干涉仪(1)发出的光入射到第一组基准全息区域(3-8)，产生四个像点，调整第一反射镜框(6)，使得四个像点与第一反射镜框上四个标记点重合，初步确定第一反射镜(9)位置；干涉仪(1)发出的光入经过衰减片(2)后，入射到第一个主全息区域(3-1)上，再入射到光谱仪第一反射镜(9)上，光反射回到干涉仪(1)，形成干涉条纹，调整第一反射镜框(6)使得干涉条纹出现零条纹，确定第一反射镜(9)位置；

步骤三，干涉仪(1)发出的光入射到CGH(3)的第二个对准全息区域(3-6)，反射后回到干涉仪(1)，形成干涉条纹，调整六维调节架(12)使得第二个对准全息区域(3-6)出现零条纹，固定六维调节架(12)；干涉仪(1)发出的光入射到第二组基准全息区域组(3-9)，产生四个像点，调整光栅镜框(7)使得四个像点和光栅镜框上四个标记点重合，初步确定光栅(10)位置；干涉仪(1)发出的光入经过衰减片(2)后，入射到第二个主全息区域(3-2)上，再入射到光谱仪光栅(10)上，光反射回干涉仪(1)，形成干涉条纹；干涉仪(1)发出的光入经过衰减片(2)后，入射到第三个主全息区域(3-3)上，再入射到光谱仪光栅(10)上，光反射回到干涉仪(1)，形成干涉条纹，调整光栅镜框(7)，使得两个主全息区域干涉条纹均为零条纹，确定光栅(10)的位置；

步骤四，将干涉仪(1)发出的光入射到CGH(3)的第三个对准全息区域(3-7)，反射后回到干涉仪(1)，形成干涉条纹，调整六维调节架(12)使得第三个对准全息区域(3-7)出现零条纹，固定六维调节架(12)；干涉仪(1)发出的光入射到第三组基准全息区域(3-10)，产生四个像点，调整第三反射镜框(8)，使得四个像点与第三反射镜框上标记点重合，初步确定第三反射镜(11)位置；干涉仪(1)发出的光入经过衰减片(2)后，入射到第四主全息区域(3-4)上，再入射到光谱仪第三反射镜(11)上，光反射回到干涉仪(1)，形成干涉条纹，调整第三反射镜框(8)使得干涉条纹出现零条纹，确定第三反射镜(11)位置；

步骤五，取下计算全息器件(3)，将第二反射镜(15)安装到光谱仪(4)框架上，基于标准球面镜(17)光路自返回原理，根据理论波像差调整第二反射镜框(16)姿态，使得光谱仪系统波像差满足要求，完成第二反射镜(15)的装调。