[发明专利]双极板位置检测及精度调节装置

权利要求书

1.一种双极板位置检测及精度调节装置，其特征在于，包括：

三轴调整机构，在所述的双极板位置检测及精度调节装置上设置所述的三轴调整机构；

平台安装支架，在所述的三轴调整机构的上方固定所述的平台安装支架；

真空装置，在所述的平台安装支架内安装所述的真空装置；

真空平台，在所述的平台安装支架上方设置所述的真空平台，所述的真空平台与所述的真空装置连接；

视觉检测系统，在所述的真空平台的上方设置所述的视觉检测系统；所述的视觉检测系统对所述的真空平台上的检测位置进行识别；

主控装置，所述的主控装置控制视觉系统识别出所述的检测位置和理论位置的偏差，对所述的检测位置在所述三轴调整机构方向上进行调整，使所述的检测位置和所述的理论位置重合。

2.根据权利要求1所述的双极板位置检测及精度调节装置，其特征在于，在所述的真空平台的两侧固定去离子装置4和除尘器装置；所述的去离子装置沿着所述的真空平台的中心轴线平行设置；所述的去离子装置和所述的除尘器装置设置在同一平面上。

3.根据权利要求1所述的双极板位置检测及精度调节装置，其特征在于，所述的三轴调整机构，还包括：

底板，在所述的三轴调整机构的底部固定所述的底板；

X/Y十字导轨，在所述的底板上固定所述的X/Y十字导轨；

台板，在所述的X/Y十字导轨上活动所述的台板；

X轴模块，在所述的台板一侧设置所述的X轴模块；

Y轴模块，在所述的台板另一侧设置所述的Y轴模块；

所述的X轴模块和所述的Y轴模块驱动所述的台板沿着所述的X/Y十字导轨进行X轴方向和Y轴方向移动；

圆盘底座，在所述的台板上固定所述的圆盘底座；

旋转平台，在所述的旋转平台中间固定旋转轴；所述的旋转轴活动连接在所述的圆盘底座的中心；使得所述的旋转平台在所述的圆盘底座上旋转；

旋转轴模块，在所述的台板的侧面固定所述的旋转轴模块的底座；

滑槽，在所述的旋转平台的圆弧的侧面上开设一所述的滑槽；

横档，在所述的滑槽内活动插入所述的横档的一端；所述的横档的另一端固定在所述的旋转轴模块上；

腰形孔，在所述的旋转平台上开设所述的腰形孔；

定位销，在所述的腰型孔内，在所述的圆盘底座上插入所述定位销。

4.根据权利要求3所述的双极板位置检测及精度调节装置，其特征在于，所述的X轴模块和所述的Y轴模块的结构相同；所述的X轴模块驱动所述的台板沿着X轴方向移动；所述的Y轴模块驱动所述的台板沿着Y轴方向移动；所述的旋转轴模块驱动所述的旋转平台沿着Z轴的旋转方向旋转。

5.根据权利要求4所述的双极板位置检测及精度调节装置，其特征在于，所述的X轴模块，还包括：

X轴伺服电机，在所述的X轴模块的一端上设置所述的X轴伺服电机；所述的X轴伺服电机的外壳固定在X轴支架上；

X轴滚珠丝杆，在所述的X轴伺服电机的电机轴上通过连接器连接所述的X轴滚珠丝杆的一端；所述的X轴滚珠丝杆活动连接在所述的X轴支架上；

X轴活动连接块，在所述的X轴滚珠丝杆活动连接所述的X轴活动连接块；所述的X轴活动连接块固定在台板的底部。

6.根据权利要求4所述的双极板位置检测及精度调节装置，其特征在于，所述的Y轴模块，还包括：

Y轴伺服电机，在所述的Y轴模块的一端上设置所述的Y轴伺服电机；Y轴伺服电机的外壳固定在Y轴支架上；

Y轴滚珠丝杆，在所述的Y轴伺服电机的电机轴上通过连接器连接所述的Y轴滚珠丝杆的一端；所述的Y轴滚珠丝杆活动连接在所述的Y轴支架上；

Y轴活动连接块，在所述的Y轴滚珠丝杆活动连接所述的Y轴活动连接块；所述的Y轴活动连接块固定在台板的底部。