[发明专利]一种Gibbs-Wulff光学涡旋阵列掩模版的设计方法在审
| 申请号: | 202211402139.X | 申请日: | 2022-11-07 |
| 公开(公告)号: | CN116027626A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
| 发明(设计)人: | 台玉萍;秦雪云;李新忠 | 申请(专利权)人: | 河南科技大学 |
| 主分类号: | G03F1/26 | 分类号: | G03F1/26;G02B27/00;G02B27/09 |
| 代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 逯雪峰 |
| 地址: | 471000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 gibbs wulff 光学 涡旋 阵列 模版 设计 方法 | ||
1.一种Gibbs-Wulff光学涡旋阵列掩模版的设计方法,其特征在于:步骤如下:
S1、获取Gibbs-Wulff光学涡旋阵列的电场表达式:
其中,(x,y)是空间光调制器SLM平面的笛卡尔坐标系,是SLM平面的极坐标系,N为Gibbs-Wulff光学涡旋阵列中涡旋的个数,k是波数,l是涡旋的拓扑荷值,n和α分别为锥透镜的折射率和锥角,S为Gibbs-Wulff光学涡旋阵列中每个涡旋的位置矩阵;
S2、结合Gibbs-Wulff光学涡旋阵列的振幅、相位与一个闪耀光栅,得到所述Gibbs-Wulff光学涡旋阵列掩模版的复透过率函数,其复透过率函数具体表达式为:
t=|H0(x,y)|exp[j(angle(H(x,y))+P0)]
其中,||表示对复振幅求模,H0(x,y)=H(x,y)·T,T为宏像素的相位调制函数,angle()为求角向函数;
S3、基于该复透过率函数所描述的掩模版即为所述的Gibbs-Wulff光学涡旋阵列掩模版。
2.根据权利要求1所述的一种Gibbs-Wulff光学涡旋阵列掩模版的设计方法,其特征在于:所述闪耀光栅的相位表达式为:P0=2πx/d,其中d为闪耀光栅的周期。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南科技大学,未经河南科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211402139.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备





