[发明专利]一种定量输送的液态特气输送柜

说明书

本申请公开了应用于特气输送领域的一种定量输送的液态特气输送柜，该方案通过向特气瓶内部加注高压氮气使得液态特气进入输送管，利用液态特气可以提供更持久的生产力，提高了生产效率，当管道内部压力减小或者外界温度过高导致液态特气提前汽化，致使电磁流量计计量出现偏差，利用气液分离器使得液态特气与气态特气分离，分别进入不同管道内部分别计量，提高了对液态特气的流量的精准把控，同时可以利用控制柜对汽化的程度进行实时监控，配合隔膜泵将气态特气重新压缩成液态并收集于液化瓶内部，当生产需求增大时，可以将液化瓶内部的液态特气补充输送到生产车间，利用导液管内部的微型流量计配合电磁流量计更准确的定量输送液态特气。

技术领域

本申请涉及特气输送领域，特别涉及一种定量输送的液态特气输送柜。

背景技术

特气是指易燃易爆、有毒、有腐蚀性、纯度特别高的气体。特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称则称为特气系统。电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业。

半导体和光伏行业制程中会用到很多种特气，有些特气是通过液态形态输送的，通过驱动气体驱动，输送到用气点的鼓泡器或蒸发器，将液态特种气体鼓泡或直接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备，在精密的半导体生产中需要精确控制特气的流量，但是一般的输送方式容易导致管道内部的压力逐渐减弱，其次会受到外界高温的影响，进而导致部分液态特气提前汽化，这会导致流量计的精确度下降，严重影响生产效率和产品质量。

对此我们提出了一种定量输送的液态特气输送柜来解决上述问题。

发明内容

本申请目的在于对液态特气的精准计量，将汽化的特气重新液化并利用，减少计量误差，相比现有技术提供一种定量输送的液态特气输送柜，包括柜体，柜体前端开设有一对工作腔，工作腔外壁转动设有密封门，工作腔内部设有特气瓶，工作腔内部设有与特气瓶位置对应的气体置换组件，气体置换组件包括隔膜阀，隔膜阀内部开设有密封腔，隔膜阀左右两端均通过管道分别连接有双通节流阀，管道上端设有压力计，密封腔内底壁设有出液管，出液管上端连通于隔膜阀左端管道内部，密封腔内底壁设有与出液管位置对应的进气套管，进气套管与出液管之间留有空隙，隔膜阀右端双通节流阀连接有驱动单元，隔膜阀左端双通节流阀通过压力管连接有气液分离回流组件，气液分离回流组件包括气液分离器，气液分离器右端通过缓冲段连接有隔膜泵，隔膜泵远离缓冲段一端连接有液化瓶，气液分离器下端同样通过压缩管连接有电磁流量计，电磁流量计另一端同样通过压缩管连接有三通节流阀，三通节流阀上端通过导液管连接于液化瓶，三通节流阀右端同样设有电磁流量计，导液管内部设有微型流量计，导液管内部设有电磁阀，通过向特气瓶内部加注高压氮气使得液态特气进入输送管，利用液态特气可以提供更持久的生产力，提高了生产效率，当管道内部压力减小或者外界温度过高导致液态特气提前汽化，致使电磁流量计计量出现偏差，利用气液分离器使得液态特气与气态特气分离，分别进入不同管道内部分别计量，提高了对液态特气的流量的精准把控，同时可以利用控制柜对汽化的程度进行实时监控，配合隔膜泵将气态特气重新压缩成液态并收集于液化瓶内部，当生产需求增大时，可以将液化瓶内部的液态特气补充输送到生产车间，利用导液管内部的微型流量计配合电磁流量计更准确的定量输送液态特气。

可选的，缓冲段包括缓冲管，进一步的，缓冲管中间设有集气球体，集气球体内部设有缓冲芯，当液化瓶向外界补充液态特气时，需要暂时关闭隔膜泵，此时利用缓冲芯可以使得气态特气保持稳定，避免再次打开隔膜泵高压特气直接冲击隔膜泵导致其损坏，提高了该装置的稳定性和实用性。

可选的，缓冲芯采用金属材料制成，进一步的，缓冲芯内部开设有大量相互连通的孔隙，缓冲芯表面经过钝化处理得到氧化膜表面，利用对缓冲芯表面进行钝化处理得到的氧化膜，可以避免特气与金属材料反应，提高了特气的纯净度，多孔隙的缓冲芯可以大量的存储特气且保持其相对稳定性，提高了对隔膜泵的保护能力。