[发明专利]一种玻璃激光切割的浸蚀裂片方法

权利要求书

1.一种玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.在玻璃基材上规划多个微孔的切割轨迹，激光沿着轨迹对玻璃基材进行切割；

S2.将含有玻璃切缝的玻璃基体浸泡在无氟溶液中，在高温下无氟溶液腐蚀微孔内的玻璃废料，完成裂片。

2.根据权利要求1所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述步骤S1中，具体包括：

根据玻璃基材的形状、所需开微孔的数量、微孔的大小、微孔的位置关系，在玻璃基材表面规划处微孔的切割轨迹，通过脉冲激光沿着切割轨迹行走并聚焦在玻璃基材内部，以使切割轨迹处的玻璃基材内部发生质化，形成切缝。

3.根据权利要求2所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：

无氟溶液完全浸没含有玻璃切缝的玻璃基体，无氟溶液腐蚀质化的切缝以使切缝膨胀变宽，玻璃废料挤压出玻璃基材完成裂片。

4.根据权利要求1所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述步骤S1中的激光为皮秒红外激光。

5.根据权利要求1所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述步骤S2中的无氟溶液包括碱性腐蚀液。

6.根据权利要求5所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述碱性腐蚀液配方比例为80~90%的超纯水、6~18%的强碱溶液、不大于4%的弱碱溶液。

7.根据权利要求1所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述高温的温度为90摄氏度以上。

8.根据权利要求1所述玻璃激光切割的浸蚀裂片方法，其特征在于，所述玻璃基材的材质为二氧化硅玻璃。