[发明专利]一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置

权利要求书

1.一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，包括吊装底座(1)，其特征在于：所述吊装底座(1)顶部开设有存储槽(2)，所述存储槽(2)内壁底部固定连接有支撑装置(3)，所述吊装底座(1)顶部中心位置固定连接有压紧装置(4)；

所述支撑装置(3)包括：

支撑座(31)，该支撑座(31)具有矩形结构，以及固定在所述支撑座(31)两侧顶部的导向杆(32)，所述导向杆(32)一端通过转动支座固定在支撑座(31)顶部，所述导向杆(32)与转动支座转动连接；

支撑爪(33)，该支撑爪(33)具有弧形结构，以及设置在所述支撑爪(33)顶部的转动支撑台(34)，所述支撑柱(33)底部通过转动环套设在导向杆(32)并与导向杆(32)滑动连接，所述支撑爪(33)套设在导向杆(32)上并与导向杆(32)滑动连接；

挤压块(35)，该挤压块(35)两端均套设在导向杆(32)上并与导向杆(32)滑动连接，所述挤压块(35)中心位置贯穿并螺纹连接有螺纹推杆(36)，所述螺纹推杆(36)贯穿挤压块(35)的一端转动连接有限位座(37)，所述限位座(37)底部与支撑座(31)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述支撑座(31)底部与存储槽(2)内壁固定连接，所述支撑爪(33)选用弧形伸缩杆制成，所述支撑爪(33)顶部与转动支撑台(34)之间设置有缓冲弹簧。

3.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述支撑爪(33)设置有多组，相邻所述支撑爪(33)之间设置有挤压摩擦套(38)，所述挤压摩擦套(38)套设在导向杆(32)上并与导向杆(32)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述转动支撑台(34)包括支撑台本体(341)，所述支撑台本体(341)内部开设有气腔(342)，所述气腔(342)内壁顶部开设有出气孔(343)，所述支撑台本体(341)顶部固定连接有摩擦垫(344)，所述支撑台本体(341)一侧顶部转动连接有限位挡片(345)，所述支撑台本体(341)底部固定连接有转动座(346)的转动部。

5.根据权利要求4所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述转动座(346)的固定部通过缓冲弹簧与支撑爪(33)顶部连接，所述气腔(342)一侧连通有充气嘴。

6.根据权利要求4所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述出气孔(343)顶部延伸至支撑台本体(341)顶部，所述出气孔(343)设置有多组并且均匀分布在气腔(342)内壁顶部。

7.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述压紧装置(4)包括压紧座(41)，所述压紧座(41)顶部侧面开设有转动槽(42)，所述转动槽(42)内壁转动连接有压紧杆(43)，所述压紧杆(43)靠近转动槽(42)的一端侧面固定连接有弧形弹簧(44)，所述压紧杆(43)远离转动槽(42)的一端固定连接有压紧块(45)，所述压紧块(45)底部开设有滚动槽(46)，所述滚动槽(46)内壁转动连接有支撑辊(47)。

8.根据权利要求7所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述压紧座(41)底部与吊装底座(1)顶部固定连接，所述转动槽(42)设置有多组并且分别与存储槽(2)一一对应。

9.根据权利要求7所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述转动槽(42)内壁固定连接有限位装置(48)，所述限位装置(48)包括限位台(481)，所述限位台(481)底部固定连接有转动槽(42)，所述限位台(481)一侧开设有伸缩槽(482)，所述伸缩槽(482)内壁滑动连接有挤压顶块(483)，所述挤压顶块(483)一侧与伸缩槽(482)内壁之间设置有挤压弹簧(484)。

10.根据权利要求9所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述压紧杆(43)靠近转动槽(42)的一端侧面开设有挤压槽(485)，所述挤压槽(485)顶部固定连接有控制槽(486)，所述控制槽(486)内壁转动连接有控制杆(487)，所述控制杆(487)一端延伸至挤压槽(485)内部。