[发明专利]一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备

说明书

本发明公开了一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，包括混料装置、双检装置、导流装置和注料管，混料装置和双检装置连接，双检装置和导流装置电连接，导流装置和混料装置连接，注料管设置有多个，注料管一端和混料装置紧固连接，混料装置包括混料仓，混料仓上设有若干进料道，注料管一端和进料道管道连通，进料道一侧设有分流道，若干分流道下端收束成混料道，混料仓上设有抽检腔，混料道和抽检腔间歇连通，通过双检装置对原料进行检测，并对剥离液的剥离性能进行检测，通过导流装置进行液体导流，将待检测的原料送入抽检腔内进行间歇式抽检，注料管和注料泵连接，通过注料泵对原料液进行增压，提高原料液输送效率。

技术领域

本发明涉及剥离液取样抽检技术领域，具体为一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备。

背景技术

近年来，随着自动化行业和电子电工行业的不断发展，在集成电路制造和半导体封装过程中，工艺要求逐渐提高，在相应设备的生产环节，需要使用光刻胶，又称光致抗蚀剂，经过特定的光线照射后，在曝光区可以快速地进行光固化，改善物理性能，最后需要将多余的光刻胶通过剥离液去除。

剥离液一般由有机胺化物、极性有机溶剂和水组成，在注液过程中，虽然可以将多种组分通过单一的增压装置进行泵液，但是容易造成管道内的原料液残留，影响配液精度，从而降低最终剥离液的剥离效果。现有的水性剥离液大多存在腐蚀金属配线、光刻胶残留等剥离效果差等问题，因此，当含水率过高时，容易造成金属腐蚀，产生不良品，含水率过低时，容易增大企业成本，影响配液效率。

此外，现有的配液抽检设备只能进行最终的剥离性能测试，在测试过程中需要停机检测，无法进行实时检测，当配液不均匀时，容易影响检测精度，增大了抽检的难度，且无法对原料进料进行监测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，包括混料装置、双检装置、导流装置和注料管，混料装置和双检装置连接，双检装置和导流装置电连接，导流装置和混料装置连接，注料管设置有多个，注料管一端和混料装置紧固连接，混料装置包括混料仓，混料仓上设有若干进料道，注料管一端和进料道管道连通，进料道一侧设有分流道，若干分流道下端收束成混料道，混料仓上设有抽检腔，混料道和抽检腔间歇连通。

通过混料装置对剥离液的原料进行混料，剥离液的原料一般为有机胺化物、极性有机溶剂和水，通过注料管进行分类注料，避免同管注料时造成管内残料影响注料精度，通过双检装置对原料进行检测，并对剥离液的剥离性能进行检测，通过导流装置进行液体导流，将待检测的原料送入抽检腔内进行间歇式抽检，注料管和注料泵连接，通过注料泵对原料液进行增压，提高原料液输送效率。

进一步的，混料仓上设有搅拌腔，若干进料道远离注料管一端和搅拌腔连通，混料装置还包括搅拌轴，搅拌轴和混料仓转动连接，搅拌轴外圈设有若干扰流板，扰流板上设有扰流面，扰流板包括两个横板和一个竖板，横板和竖板为半管型，横板上侧为扰流面，横板下侧为平面，竖板外侧为平面，竖板内侧为扰流面，扰流面弧形设置；

导流装置包括抽检泵，抽检泵进口设置三通阀，三通阀的第一进口和混料道末端连通，搅拌腔通过导流道和抽检腔连通，三通阀的第二进口通过导流道和搅拌腔连通，双检装置包括试验组件、光检组件、载板和电源，试验组件和光检组件置于抽检腔内，试验组件包括试验板，试验板上设有若干分检腔，抽检泵出口朝向分检腔，分检腔底侧设有金属涂层，金属涂层向上延伸设有光刻胶，分检腔壁面设有拦板，拦板表面设有吸光层，光检组件包括光源和基板，基板和光源置于载板上，载板和抽检腔滑动连接，基板向下延伸设有光敏层，光敏层中插接两个导电板，两个导电板和电源通过电线构成回路；

检测时：光源朝向分检腔底端，光源的折射光路落在光敏层上。