[发明专利]浆料雾沫喷嘴、湿式喷砂装置及湿式喷砂装置的控制方法

说明书

本发明提供浆料雾沫喷嘴、湿式喷砂装置及湿式喷砂装置的控制方法。浆料雾沫喷嘴(20)包括：壳体(21)，其形成有高压空气供给口(26)和浆料雾沫喷射口(28)；以及浆料供给导管(35)，其被引入到壳体(21)的内部，在其侧面或端面形成有浆料供给口(37)，浆料雾沫喷射口(28)的开口面积小于高压空气供给口(26)的开口面积。

技术领域

本发明涉及浆料雾沫喷嘴、湿式喷砂装置及湿式喷砂装置的控制方法。

背景技术

以往已知有一种利用高压空气向工件喷射通过将液体和研磨剂混合而成的浆料的湿式喷砂装置。

例如，如图10所示，在专利文献1中示出的湿式喷砂装置所具备的浆料雾沫喷嘴设有高压空气供给部1和浆料供给部2。从高压空气供给部1供给的高压空气A和从浆料供给部2供给的浆料S在高压空气供给部1的前端附近混合。与高压空气A混合的浆料S与高压空气A一同从浆料雾沫喷射口3喷射。

如图11所示，在专利文献2中示出的湿式喷砂装置所具备的浆料雾沫喷嘴在供给高压空气A的高压空气供给部4的两侧设有供给浆料S的浆料供给部5。从高压空气供给部4供给的高压空气A和从浆料供给部5供给的浆料S在高压空气供给部4的前端附近混合。与高压空气A混合的浆料S与高压空气A一同从浆料雾沫喷射口6喷射。

如图12所示，在专利文献3中示出的湿式喷砂装置所具备的浆料雾沫喷嘴在供给浆料S的浆料供给部8的侧面侧设有供给高压空气A的高压空气供给部7。从高压空气供给部7供给的高压空气A和从浆料供给部8供给的浆料S在浆料供给部8的前端附近混合。与高压空气A混合的浆料S与高压空气A一同从浆料雾沫喷射口9喷射。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平04-082668号公报

专利文献2：日本特开2001-300363号公报

专利文献3：日本特开2020-131303号公报

发明内容

发明要解决的问题

另外，近年来要求在工件形成的图案的微细化。因此，寻求表面粗糙度为纳米级水平的微细研磨加工(粗糙面加工、图案切削加工等)。为了实现纳米级水平的表面粗糙度，需要将包含平均粒径2μm(优选为平均粒径1μm)以下的研磨剂的浆料以稳定的状态向工件均匀地喷射。

另外，通常的湿式喷砂装置所具备的浆料雾沫喷嘴利用喷射现象向浆料雾沫喷嘴内供给浆料。如图10～图12所示，在以往的湿式喷砂装置中，高压空气供给部1、4、7的开口面积ΦB小于浆料雾沫喷射口3、6、9的开口面积ΦA。

但是，在这样的浆料雾沫喷嘴中，从高压空气供给部供给来的高压空气的喷射压力产生压力分布，从浆料雾沫喷射口喷射的浆料雾沫的喷射速度变得不均匀。因此，在使用微细的研磨材料作为浆料的情况下，存在因浆料雾沫的喷射速度的差异而使加工后的工件的表面粗糙度变得不均匀这样的问题点。

本发明的一技术方案的目的在于提供能够对工件实施更均匀的微细研磨加工的浆料雾沫喷嘴、湿式喷砂装置及湿式喷砂装置的控制方法。

用于解决问题的方案

为了解决上述的问题，本发明的一技术方案的浆料雾沫喷嘴包括壳体和浆料供给导管。壳体形成有高压空气供给口和浆料雾沫喷射口。浆料供给导管被引入到所述壳体的内部，在其侧面或端面形成有浆料供给口。而且，浆料雾沫喷射口的开口面积小于高压空气供给口的开口面积。