[发明专利]物镜和扫描电镜在审
| 申请号： | 202211223224.X | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN115586623A | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 阴达;孙斌;张伟 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B26/10;G02B26/08;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 雷玉龙 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物镜 扫描电镜 | ||
1.一种物镜，用于扫描电镜，其特征在于，所述物镜包括透镜以及磁偏转器模组，
所述透镜内设容置腔；
所述磁偏转器模组位于所述容置腔与预设高度范围的交集中靠近所述透镜的主平面的一端，其中，在所述磁偏转器模组位于所述预设高度范围内时，所述磁偏转器模组的等效不动点位于所述透镜的主平面。
2.根据权利要求1所述的物镜，其特征在于，所述物镜包括铁氧体套筒，所述铁氧体套筒套位于所述容置腔内并套设于所述磁偏转器模组外。
3.根据权利要求2所述的物镜，其特征在于，所述物镜还包括散热套筒，所述散热套筒套位于所述容置腔内并套设于所述铁氧体套筒外。
4.根据权利要求3所述的物镜，其特征在于，所述散热套筒的材料为铝。
5.根据权利要求3所述的物镜，其特征在于，所述散热套筒与所述容置腔的腔壁贴合设置。
6.根据权利要求1所述的物镜，其特征在于，所述磁偏转器模组包括偏转线圈组，所述偏转线圈组包括第一方向偏转线圈对和第二方向偏转线圈对，所述第二方向偏转线圈对套设于所述第一方向偏转线圈对外。
7.根据权利要求6所述的物镜，其特征在于，所述磁偏转器模组包括两个所述偏转线圈组，两个所述偏转线圈组沿所述物镜的光轴依次排布。
8.根据权利要求6或7所述的物镜，其特征在于，所述第一方向偏转线圈对包括沿第一方向相对设置的两个第一方向线圈，两个所述第一方向线圈皆呈圆弧状且弧度为120°。
9.根据权利要求6或7所述的物镜，其特征在于，所述第二方向偏转线圈对包括沿第二方向相对设置的两个第二方向线圈，两所述第二方向线圈皆呈圆弧状且弧度为120°。
10.一种扫描电镜，其特征在于，包括电子发射源和权利要求1-9任一项所述的物镜。
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