[发明专利]全自动高速平行光曝光装置

权利要求书

1.全自动高速平行光曝光装置，包括上料机械手（1），其特征在于：所述上料机械手（1）的顶部固定连接有来料拉带（2），所述来料拉带来料拉带（2）的右侧固定连接有阵列工位（3），所述阵列工位（3）顶部的后端固定连接有相机移动机构（4），所述阵列工位（3）的右侧固定连接有曝光工位（5），所述曝光工位（5）的顶部固定连接有曝光光源（6），所述曝光工位（5）的右侧固定连接有出料机械手（7），所述出料机械手（7）的顶部设置有出料拉带（8），所述出料拉带（8）的右侧设置有翻转机构（9），所述翻转机构（9）的右侧设置有反面上料机械手（10），所述反面上料机械手（10）的右侧设置有反面阵列工位（11），所述反面阵列工位（11）的右侧设置有反面曝光工位（12），所述反面曝光工位（12）的顶部设置有反面曝光光源（13），所述反面曝光工位（12）的右侧固定连接有出料工位（14）。

2.根据权利要求1所述的全自动高速平行光曝光装置，其特征在于：所述曝光工位（5）和反面曝光工位（12）的底部固定连接有底座，底座的底部滑动连接有底板。

3.根据权利要求1所述的全自动高速平行光曝光装置，其特征在于：所述曝光工位（5）和反面曝光工位（12）均包括UVW对位平台（15），所述UVW对位平台（15）顶部的四角均固定连接有导柱（16），所述导柱（16）的表面固定连接有升降机构（17），所述升降机构（17）的顶部固定连接有加工平台（18），所述加工平台（18）的正面和背面的两侧均固定连接有光罩间隙限位块（19）。

4.根据权利要求3所述的全自动高速平行光曝光装置，其特征在于：所述导柱（16）的顶部套设有光罩，且光罩的顶部固定连接有上铬板。

5.根据权利要求3所述的全自动高速平行光曝光装置，其特征在于：所述升降机构（17）顶部的四角以及左右两侧均固定连接有PIN针，所述加工平台（18）的底部四角及左右均开设有通过PIN针的通孔。

6.根据权利要求3所述的全自动高速平行光曝光装置，其特征在于：所述加工平台（18）的内腔开设有插槽，且插槽与产品配合使用。

7.根据权利要求1所述的全自动高速平行光曝光装置，其特征在于：所述来料拉带（2）和出料拉带（8）均包括传送带和移动导轨，传送带的底部与移动导轨的顶部固定连接，且传送带底部的左侧固定连接有顶升机构。