[发明专利]一种N和Cu离子注入钛合金改性涂层及其制备方法与应用在审
申请号: | 202211179974.1 | 申请日: | 2022-09-27 |
公开(公告)号: | CN115652272A | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 张鹏;曹琳;王启伟;李杰;林怀俊;李卫 | 申请(专利权)人: | 暨南大学;暨南大学韶关研究院 |
主分类号: | C23C14/48 | 分类号: | C23C14/48;A61L27/06;A61L27/30;A61L27/50;C23C14/16 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 饶周全 |
地址: | 510632 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cu 离子 注入 钛合金 改性 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种N和Cu离子注入钛合金改性涂层的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
在钛合金表面依次进行N离子注入和Cu离子注入,然后在完成离子注入后的钛合金表面进行化学镀铜,最终得到钛合金改性涂层。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述N离子注入时的真空压力为1×10-4~5×10-4Pa,电压为50~80Kv,注入计量为1×1017~8×1017ion/cm2。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述Cu离子注入时的真空压力为1×10-4~5×10-4Pa,电压为40~70Kv,注入计量为1×1017~8×1017ion/cm2。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述化学镀铜时所使用的镀液组分为:10~20g/L CuSO4、20~30g/L EDTA-2Na、5~15ml/L HCHO和0.01~0.05g/L 2,2'-联吡啶。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述化学镀铜具体为将钛合金浸入镀液中于40~70℃搅拌15~60min。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在化学镀铜前,还对钛合金表面进行蚀刻、敏化和活化;蚀刻所使用的蚀刻液为40~60ml/L HNO3、90~110ml/L HF和水;敏化所使用的敏化液为40~60g/L SnCl2、90~110ml/L37%HCl和水;活化液所使用的活化液为10~30g/L AgNO3和水。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:所述蚀刻、敏化和活化的操作如下:蘸取蚀刻液在样品表面进行擦拭,然后将样品依次在敏化液和活化液中浸泡。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述钛合金为Ti6Al4V、Ti、Ti-2Al-2.5Zr或Ti-5Al-2.5Sn。
9.一种N和Cu离子注入钛合金改性涂层,通过权利要求1~8任一项所述方法制备得到。
10.根据权利要求9所述的N和Cu离子注入钛合金改性涂层在制备植入体材料中的应用。
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