[发明专利]基于紫外光谱提高检测SF6

权利要求书

1.基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、SF₆气体样品采集，利用采集器对SF₆气体进行样品采集；

S2、SF₆气体分解和检测,通过仪器对采集后的SF₆气体进行检测和数据分析，利用光谱法检测SF₆气体中特征组分相关物质的纯度、湿度和分解产物含量等；

S3、分解产物SO₂、H₂S和CO的标定和测试，利用各浓度下实测的光谱数据进行浓度反演，采用数字滤波处理后的差分吸收光谱，实现低浓度H₂S的定量检测；

S4、数据反演检测结果，通过测量的SF₆气体的反演检测数据，从而完成SF₆分解气体的检测；

S5、精密度的确定，精密度协同试验，一定数量的样品在实验室内按同一试验方法(多个协同单位的光谱型SF₆设备气体综合分析仪)各自进行一定次数的测定,将全部测定结果汇总、验算，判断方法的一致性，对测量值进行统计计算，求出实验室间(协同单位光学方法多台器用于测试气体组分)精密度和实验室内同一仪器测试气体组分的精密度。

2.根据权利要求1所述的基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于：所述S1中，采集器的管材采用聚四氟乙烯材质制作而成。

3.根据权利要求1所述的基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于：所述S2中，采集的气体样品经可调谐半导体激光传感器检测H₂O，通过可调谐激光光谱获得电信号，进行信号处理和转换后获得H₂O的浓度；

采集的气体样品经紫外传感器检测SO₂和H₂S，通过紫外差分吸收光谱提取快变信号，进行信号处理和转换后获得SO₂和H₂S的浓度；

采集的气体样品经红外传感器检测CO，通过红外吸收光谱获得电信号，进行信号处理和转换后获得CO的浓度；

采集的气体样品经红外传感器检测SF₆纯度，通过红外吸收光谱获得电信号,进行信号处理和转换后获得SF₆纯度。

4.根据权利要求1所述的基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于：所述S3中，进一步对滤波处理后的紫外吸收光谱进行FFT变换，计算不同浓度下的FFT特征值，并采用最小二乘法对H₂S浓度及其对应的FFT特征值进行线性拟合。

5.根据权利要求1所述的基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于：所述S4中，完成目标浓度样气的配制，对气体吸收池进行冲洗，背景光谱数据采集，SO₂样气光谱数据采集，以及获取SO₂吸收光谱，最终获得SO₂气体的吸收光谱。

6.根据权利要求1所述的基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于：所述S5中，本协同试验选定多个协同单位，分解产物SO₂、H₂S、CO选用10个平行样，总计50个样,湿度选用7个平行样，总计35个样，SF₆纯度选用10个平行样，总计50个样。

7.根据权利要求1所述的基于紫外光谱提高检测SF₆气体分解产物精度的方法，其特征在于：所述S5中，实验室标准气体钢瓶与配气仪密封连接,配气仪出口与光谱型SF₆设备气体综合分析仪密封连接，控制流量在800mL/min，配置不同浓度(uL/L)的SO₂、H₂S、CO混合气体，配置不同浓度(％)的SF₆气体，采用湿度发生装置，分别获得不同浓度(uL/L)的水分21含量，用于精密度确定和验证。