[发明专利]一种负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板及其制备方法在审
申请号: | 202211099773.0 | 申请日: | 2022-09-07 |
公开(公告)号: | CN115902208A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 潘登;李炜康;侯伟盛 | 申请(专利权)人: | 深圳前海石墨烯产业有限公司 |
主分类号: | G01N33/545 | 分类号: | G01N33/545;G01N33/543;C23C16/26 |
代理公司: | 广东众赢专利代理事务所(普通合伙) 44423 | 代理人: | 樊宝忠 |
地址: | 518000 广东省深圳市前海深港合作区南山街道前*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 负载 石墨 薄膜 聚苯乙烯 酶标板 及其 制备 方法 | ||
1.负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
a、采用化学气相沉积法在金属基底上生长石墨烯,得到第一样片;
b、将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂到第一样片的正面,加热固化后得到第二样片;
c、将第二样片的背面放入轰击等离子体装置,抽真空后轰击等离子体,轰击结束得到第三样片;
d、将第三样片正面朝上加入蚀刻溶液中,蚀刻掉金属基底,清洗后得到第四样片;
e、将聚苯乙烯酶标板从第四样片溶液中捞出,使第四样片平整覆盖在聚苯乙烯板表面,吸水晾干后加热烘干,得到第五样片;
f、将第五样片中的聚甲基丙烯酸甲酯去除,得到负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板。
2.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:步骤a所述的石墨烯为单层石墨烯、双层石墨烯或多层石墨烯。
3.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:步骤a所述的金属基底为铜、镍、铂、钴、铁、钼、钌或铱中的一种。
4.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:满足下述至少一项,
步骤b所述的旋涂速度为2000-5000rmp/s;或
步骤b所述的加热固化聚甲基丙烯酸甲酯的温度为60-100℃,时间为10-60min。
5.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:满足下述至少一项,
步骤c所述的抽真空时间为5-30min;或
步骤c所述的轰击等离子体的功率为Low,时间为10-60min;或
步骤c所述的轰击等离子体设备为型号PDC-002-HP的PLASMA Cleaner等离子刻蚀机。
6.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:步骤d所述的蚀刻溶液为过硫酸铵或氯化铁,浓度为0.1-3mol/L。
7.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:步骤d所述的蚀刻分为两次,第一次蚀刻时间为1-10h,第二次蚀刻将第三样片转移到新的蚀刻液中,蚀刻时间为1-20h。
8.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:步骤e所述的吸水晾干时间为1-2h,加热温度为60-200℃,加热时间为5-60min。
9.根据权利要求1所述的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板的制备方法,其特征在于:步骤f所述的去除聚甲基丙烯酸甲酯的具体操作为:将第四样片泡入丙酮当中加热,加热时间10-360min,加热温度30-56℃,后依次用丙酮和异丙醇各冲洗2min,使用氮气吹干。
10.权利要求1-9任一项所述的制备方法直接制备得到的负载石墨烯薄膜的聚苯乙烯酶标板。
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