[发明专利]一种低温等离子体诱导功能薄膜的制备方法及其关键材料

权利要求书

1.一种用于等离子体诱导制备功能薄膜的油墨，其特征在于，按质量百分比计，所述油墨包括如下组分的原料：金属盐24.9～47.1％，2-乙基己胺9.8～13.4％，2-氨基-2甲基-丙醇14.3～27.9％，粘结剂1～5％，有机溶剂10～50％。

2.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，所述金属盐为四水甲酸铜或四水甲酸铜与其他金属盐的混合，所述其他金属盐为二水甲酸镍、草酸银中的一种或两种；所述四水甲酸铜与其他金属盐的质量比为2～20:1。

3.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，所述有机溶剂为正丁醇、乙二醇中的一种或两种。

4.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，所述粘结剂为聚乙烯吡咯烷酮，所述聚乙烯吡咯烷酮的纯度为99％，分子量为44000～54000；所述2-氨基-2甲基-丙醇与2-乙基己胺的摩尔比为1～3.2:1；所述金属盐的摩尔量与2-乙基己胺和2-氨基-2甲基-丙醇摩尔总量的比为1:2。

5.一种权利要求1～4任一项所述油墨的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤，按质量百分比：

(1)将金属盐研磨得到金属盐粉末；

(2)将2-氨基-2甲基-丙醇与2-乙基己胺混合得到混合胺；

(3)向步骤(1)得到的金属盐粉末中加入步骤(2)制备的混合胺，搅拌反应后，加入溶剂搅拌均匀，再加入粘结剂，搅拌10～12h后得到用于等离子体诱导制备功能薄膜的油墨。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述金属盐粉末的粒径为1～10μm；步骤(3)中所述搅拌的速度均为1000～2000r/min，搅拌反应的时间为5～10min。

7.一种用权利要求1～4任一项所述油墨制备的功能薄膜。

8.一种权利要求7所述功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

S1：清洗柔性基板；

S2：将权利要求1～4任一项所述油墨旋涂于柔性基板；

S3：将旋涂有油墨的柔性基板置于加热板进行预热处理后，置于等离子体设备，设置等离子体处理的功率、时间和气体流量，然后通入N₂/H₂混合气进行诱导，得到功能薄膜。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述清洗是用UV光清洗10～30min；步骤(2)中，所述旋涂的速度为3000r/min，时间为40～60s。

10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述预热处理是以10～20℃/min的速度加热到100～120℃，保温5～15min；所述等离子体处理的功率为150～200W，时间为2～10min，气体流量为5～40ml/min。