[发明专利]液滴排出设备在审
申请号: | 202211077899.8 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN115782416A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 卞炡雄;铃木俊成;闵淸玩;韩政洹 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | B41J3/407 | 分类号: | B41J3/407;B41J3/44;B41J2/01 |
代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 李子光 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排出 设备 | ||
1.一种液滴排出设备,包括:
转移部,在第一方向上移动包括第一目标位置的衬底;
喷墨头,布置在所述转移部上并且将第一液滴排出到所述衬底的所述第一目标位置;
第一相机,位于所述喷墨头的与所述第一方向相反的第二方向上,所述第一相机获取与所述衬底的所述第一目标位置相对应的第一图像;
第二相机,位于所述喷墨头的所述第一方向上,所述第二相机获取与所述衬底的所述第一目标位置相对应的第二图像;以及
图像处理器,接收所述第一图像和所述第二图像,并且对所述第一图像和所述第二图像进行比较,以审视所述第一液滴的排出状态。
2.根据权利要求1所述的液滴排出设备,其中,
所述第一相机在第一时间处获取所述第一图像,
所述喷墨头在比所述第一时间晚的第二时间处排出所述第一液滴,并且
所述第二相机在比所述第二时间晚的第三时间处获取所述第二图像。
3.根据权利要求2所述的液滴排出设备,其中,在所述第一时间、所述第二时间和所述第三时间处,所述转移部在所述第一方向上移动所述衬底。
4.根据权利要求2所述的液滴排出设备,其中,
所述第一图像为在所述第一液滴排出之前与所述第一目标位置相对应的图像,并且
所述第二图像为在所述第一液滴排出之后与所述第一目标位置相对应的图像。
5.根据权利要求2所述的液滴排出设备,其中,
所述衬底进一步包括在所述第二方向上与所述第一目标位置间隔开的第二目标位置,
所述第一相机获取与所述衬底的所述第二目标位置相对应的第三图像,
所述喷墨头将第二液滴排出到所述衬底的所述第二目标位置,
所述第二相机获取与所述衬底的所述第二目标位置相对应的第四图像,并且
所述图像处理器接收所述第三图像和所述第四图像,并且对所述第三图像和所述第四图像进行比较,以审视所述第二液滴的排出状态。
6.根据权利要求5所述的液滴排出设备,其中,
所述第一相机在比所述第一时间晚的第四时间处获取所述第三图像,
所述喷墨头在比所述第四时间晚的第五时间处排出所述第二液滴,并且
所述第二相机在比所述第五时间晚的第六时间处获取所述第四图像。
7.根据权利要求1所述的液滴排出设备,其中,所述第一相机、所述喷墨头和所述第二相机彼此物理地连接并且被固定。
8.根据权利要求1所述的液滴排出设备,进一步包括:
控制器,所述控制器与所述图像处理器通信,并且在所述液滴排出设备确定所述第一液滴未落座在所述第一目标位置处的情况下停止打印工艺。
9.根据权利要求1所述的液滴排出设备,进一步包括:
照明器,包括:
光源,在与第三方向相交的方向上照射光;以及
半反射镜,在所述第三方向上反射所述光,
其中,所述第一相机和所述第二相机拍照的方向为所述第三方向,所述第三方向与所述衬底垂直。
10.根据权利要求9所述的液滴排出设备,其中,
所述第二相机接收由所述衬底反射的第一反射光,
所述第二相机接收由所述第一液滴反射的第二反射光,
所述第一反射光具有第一强度,并且
所述第二反射光具有大于所述第一强度的第二强度。
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