[发明专利]基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件及调控方法在审
| 申请号: | 202211076185.5 | 申请日: | 2022-09-05 |
| 公开(公告)号: | CN115394920A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
| 发明(设计)人: | 李林军;朱焕峰;张天 | 申请(专利权)人: | 浙江大学嘉兴研究院;浙江大学 |
| 主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G06N3/063 |
| 代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 李亦慈;唐银益 |
| 地址: | 314031 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 二维 材料 神经 突触 器件 调控 方法 | ||
1.一种基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件,其特征在于,包括从上到下的衬底(1)、底电极(2)、功能层(3)、顶电极(4),所述功能层(3)为二维原子晶体铁电材料CuInP2S6,具有室温的面外铁电极化。
2.如权利要求1所述的基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件,其特征在于,所述衬底(1)为285nm SiO2基底或300nm SiO2基底,所述顶电极(4)为二维原子晶体材料,厚度为单层或少层。
3.如权利要求1所述的基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件,其特征在于,所述功能层(3)厚度为大于4nm,底电极(2)为金属材料,厚度为20nm~50nm。
4.如权利要求3所述的基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件,其特征在于,所述功能层(3)为25nm,底电极(2)为Au材料,厚度为30nm。
5.如权利要求2所述的基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件,其特征在于,所述的顶电极(4)为石墨烯,厚度为单层石墨烯。
6.一种如权利要求1-5中任意一项所述基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件的制备方法,包括以下步骤:
1)在SiO2基底上采用光刻定义底电极(2)的图形,然后蒸镀Au薄层,作为器件的底电极(2);
2)采用干法转移的方式将二维单晶铁电材料转移到步骤1)所制备好的Au底电极(2)上,作为器件的功能层(3);
3)采用干法转移的方式将二维单层石墨烯材料转移到步骤2)所制备好的功能层(3)上,作为器件的顶电极(4)。
7.如权利要求6所述的基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件的制备方法,其特征在于,所述的步骤1)具体为:采用紫外光刻或电子束光刻的方法定义底电极(2)图形,然后采用热争渡的方法制备Au底电极(2)。
8.如权利要求6所述的基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件的制备方法,其特征在于,采用机械剥离的方法制备二维单层石墨烯材料和二维少层铁电材料。
9.一种如权利要求1-5中任意一项所述基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件的调控方法,其特征在于,采用电激励方式,具体为:通过在所述基于二维CuInP2S6铁电材料的忆阻神经突触器件的底电极(2)接地,顶电极(4)输入多个相同脉冲的正直流电压使器件的电流逐渐升高,电导值逐渐增大,模拟实现忆阻神经突触器件的长程可塑性功能,相反,在顶电极(4)输入多个相同脉冲的负直流电压使器件的电流逐渐降低,电导值逐渐减小,模拟实现忆阻神经突触器件的长程抑制性功能。
10.一种如权利要求1-5中任意一项所述基于二维铁电材料的忆阻神经突触器件的调控方法,其特征在于,采用光激励方式,具体为:通过在所述基于二维CuInP2S6铁电材料的忆阻神经突触器件的底电极(2)接地,当顶电极(4)输入正直流电压使器件切换到低电阻状态,然后采用多个紫外激光(5)脉冲照射器件的结区,器件的零偏压光电流逐渐减小,光电导值逐渐减小,模拟实现忆阻神经突触器件的长程抑制性功能,相反,当顶电极(4)输入负直流电压使器件切换到高电阻状态,然后采用多个紫外激光(5)脉冲照射器件的结区,器件的零偏压光电流逐渐增加,电导值逐渐增加,模拟实现忆阻神经突触器件的长程可塑性功能。
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