[发明专利]废料回收装置及方法

说明书

本发明提供了一种废料回收装置及方法，涉及废料回收技术领域。其中，所述废料回收装置，包括：炉体、气体调节机构、以及位于所述炉体中的加热装置、坩埚、接收构件；所述坩埚用于盛放废料；所述废料为拉晶后剩余的硅料；所述加热装置用于加热所述坩埚中的所述废料至熔融状态；所述气体调节机构用于对所述炉体内的炉压进行调节，使得熔融状态的所述废料中的待提取物质挥发；所述接收构件位于所述坩埚的上方，用于收集所述待提取物质。本发明实现了对拉晶后剩余的硅料中的待提取物质的回收，减少了资源浪费，且该装置结构简单、便于操作，同时，在回收过程中，无需使用任何试剂，对环境友好。

技术领域

本发明涉及废料回收技术领域，特别是涉及一种废料回收装置及方法。

背景技术

拉晶过程中，通常会在硅料中加入一些添加剂，以提升单晶的品质。

上述添加剂，由于在硅中的分凝系数较小，拉晶完毕后，上述添加剂在拉晶后剩余的硅料中还有大量剩余。

目前，对于拉晶后剩余的硅料通常不作回收处理，而且，上述添加剂通常为稀有材料等，对于拉晶后剩余的硅料不作回收处理，造成了极大地资源浪费。

发明内容

本发明提供一种废料回收装置及方法，旨在解决拉晶后剩余的硅料中的添加剂不能有效回收的问题。

本发明的第一方面，提供一种废料回收装置，包括：炉体、气体调节机构、以及位于所述炉体中的加热装置、坩埚、接收构件；

所述坩埚用于盛放废料；所述废料为拉晶后剩余的硅料；

所述加热装置用于加热所述坩埚中的所述废料至熔融状态；

所述气体调节机构用于对所述炉体内的炉压进行调节，使得熔融状态的所述废料中的待提取物质挥发；

所述接收构件位于所述坩埚的上方，用于收集所述待提取物质。

本发明中，将拉晶后剩余的硅料加热至熔融状态后，利用待提取物质与其余物质在同一温度下饱和蒸气压的差异，调节炉压，使得废料中的待提取物质以气态挥发，进入坩埚上方，而废料中的其他物质还以熔融状态的液体存在于坩埚中，实现了将待提取物质从拉晶后剩余的硅料中的分离。待提取物质从坩埚中挥发之后，由于坩埚内和坩埚上方存在的温度差，气态的待提取物质会液化或固化，位于坩埚上方的接收构件就将液化或固化的待提取物质进行收集，实现了对拉晶后剩余的硅料中的待提取物质的回收，减少了资源浪费，且该装置结构简单、便于操作，同时，在回收过程中，仅利用了待提取物质在不同温度、压强下物质状态的变化，无需使用任何试剂，对环境友好。

可选的，所述的废料回收装置，还包括：冷却部件；所述冷却部件，位于所述接收构件的外周，对所述接收构件降温；

所述接收构件包括：收集板，所述收集板靠近所述坩埚的一侧，和所述冷却部件靠近所述坩埚的一侧之间的距离为10至30毫米。

可选的，所述收集板为板状；

或者，所述收集板由互成夹角的至少两个板状结构组成。

可选的，所述夹角大于0°，小于或等于60°。

可选的，所述收集板靠近所述坩埚一侧的表面设置有若干个凸起，所述凸起的形状包括：弧形、矩形、锯齿形。

可选的，所述炉体为单晶炉，所述收集板固定在下述构件中的至少一个上：

所述单晶炉内的重锤、水冷套、热屏、所述单晶炉的炉盖。

可选的，所述接收构件中至少靠近所述坩埚的表面的材料选自：氮化硅、碳化硅、氧化铝、氮化铝、钼、钨中的至少一种。

可选的，所述坩埚的材料选自：石墨、碳碳、碳化硅、氮化硅、氮化硼、氮化铝、氧化铝中的至少一种；