[发明专利]一种带微孔壳层型HDC微球硅模芯去除方法和腐蚀装置

说明书

本发明公开了一种带微孔壳层型HDC微球硅模芯腐蚀装置，包括压力罐，所述压力罐的顶端一侧贯通连接有进气管，所述压力罐的顶端另一侧贯通连接有出气管，所述进气管上设置有第一电磁阀；所述出气管上设置有第二电磁阀；所述压力罐内设置有用于防止HDC微球上浮的HDC微球存放器，且所述HDC微球存放器为笼状结构。本发明利用压强差，加快腐蚀液进入HDC微球和生成物排除的过程，具有提升生产效率、保障生产质量的有益效果。

技术领域

本发明涉及碳材料加工成型领域，更具体的说，本发明涉及一种带微孔壳层型HDC微球硅模芯去除方法和腐蚀装置。

背景技术

在激光间接驱动惯性约束聚变(ICF)研究中，靶是ICF研究的重要物质基础，其中靶丸作为装载聚变燃料的容器，其材质、直径、厚度等参数均会影响物理实验的结果。与其它靶丸(聚合物靶丸和玻璃靶丸)，高密度碳(HDC)靶丸因其具有高密度、高X光吸收率，高热传导率等优势，因此其倍受物理实验青睐，其质量优劣被认为是物理实验成功的关键。

在HDC靶丸制备包括硅芯轴抛光、镀膜、HDC抛光、激光加工腐蚀孔、去除硅模芯五个步骤。去除硅模芯是指采用化学腐蚀方法去除靶丸内部硅模芯，腐蚀过程为，腐蚀液从腐蚀孔进入，逐步腐蚀掉硅模芯，生成物从腐蚀孔排出，从而得到HDC微球。由于腐蚀孔的直径为2-20μm，腐蚀液进入及生成物排出较为困难，腐蚀速率十分缓慢，直接影响HDC靶丸的制备进度，并且由于生成物排出困难，导致靶丸内部会有残留，影响靶丸质量。

发明内容

本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现本发明的这些目的和其它优点，提供了一种带微孔壳层型HDC微球硅模芯腐蚀装置，包括压力罐，所述压力罐的顶端一侧贯通连接有进气管，所述压力罐的顶端另一侧贯通连接有出气管；

所述进气管上设置有第一电磁阀；

所述出气管上设置有第二电磁阀；

所述压力罐内设置有用于防止HDC微球上浮的HDC微球存放器，且所述HDC微球存放器为笼状结构。

优选的是，其中，还包括用于测量所述压力罐内部压强的压力表，其设置在所述压力罐的顶端中间位置，且所述压力表设置为耐腐蚀压力表。

优选的是，其中，在所述压力罐内设置所述HDC微球存放器的方式为：所述压力罐的内部还设置有用于存放腐蚀液的腐蚀液容器，所述HDC微球存放器放置在所述腐蚀液容器内的底部。

优选的是，其中，所述压力罐包括：

耐高压的刚性罐体；

耐腐蚀的内胆，其套设在所述刚性罐体内。

优选的是，其中，所述进气管设置为耐腐蚀进气管，所述出气管设置为耐腐蚀出气管。

优选的是，其中，还包括：用于分隔所述压力罐内部空间的防腐蚀板，其设置在所述压力罐内，且所述防腐蚀板的周壁通过密封圈与所述压力罐的内壁密封连接，所述防腐蚀板的底端对称的固定连接有多个支撑脚，各所述支撑脚的底端与所述压力罐的内部底端抵靠，所述防腐蚀板的顶端中间位置还一体成型凸出设置有环形凸起，所述环形凸起与所述腐蚀液容器的底部套设连接。

一种带微孔壳层型HDC微球硅模芯去除方法，包括以下步骤：

步骤一、将HDC微球装入HDC微球存放器；

步骤二、将所述HDC微球存放器置入腐蚀液容器内，并在所述腐蚀液容器内加入腐蚀液，所述腐蚀液的液位高度高于所述HDC微球存放器的高度；

步骤三、将所述腐蚀液容器放入内胆内，再将所述内胆放入刚性罐体内，并将所述刚性罐体密封；