[发明专利]一种飞秒激光内孔壁加工装置

权利要求书

1.一种飞秒激光内孔壁加工装置，包括飞秒设备和定位设备，用于对工件上的导电孔孔壁进行处理，所述导电孔为通孔，其特征在于，还包括工件台和偏光装置；所述工件台包括用于放置工件的台板，台板上设置有中通孔，所述导电孔与所述中通孔对齐；所述台板上设置有用于夹持所述工件使工件不发生位移的夹持组件；所述偏光装置包括设置在导电孔中心线上的自转杆，所述自转杆顶部设置有反射镜；飞秒设备发出的激光光束发射到反射镜上，经过反射后，垂直作用于导电孔孔壁；所述自转杆由联动组件驱动，并在导电孔的中心线上匀速或同频间歇式运动，使飞秒激光能够处理到导电孔全部内壁。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述夹持组件包括两相互平行的限位板，所述限位板上安装有压板，所述压板与所述台板平行。

3.根据权利要求1或2所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述台板上设置有多个调节孔，所述调节孔上装配有多个调节螺杆，调节螺杆的螺帽端位于台板下方。

4.根据权利要求2所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述压板下方设置有压条。

5.根据权利要求1所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述工件台还包括固定板和支撑板，台板连接支撑板，支撑板连接固定板，固定板连接电动平台组件。

6.根据权利要求1所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述联动组件包括驱动自转杆自转的伺服电机，包括驱动自转杆在X轴和Y轴平面上微移的XY轴微调滑台，包括驱动自转杆在Z轴方向移动的直线滑台。

7.根据权利要求6所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述自转杆与伺服电机的动力输出轴连接，所述伺服电机与XY轴微调滑台通过法兰盘连接，所述XY轴微调滑台与直线滑台通过L型连接板连接。

8.根据权利要求6或7所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述联动组件通过转接板安装在飞秒设备上。

9.根据权利要求6所述的飞秒激光内孔壁加工装置，其特征在于，所述伺服电机设置在中通孔下方。