[发明专利]一种电子特气废气处理系统

权利要求书

1.一种电子特气废气处理系统，其特征在于，包括：

废气输送管道(1)；

预热器(2)，用于预热废气，所述预热器(2)包括热介质进口、热介质出口、冷介质进口和冷介质出口，所述废气输送管道(1)与所述冷介质进口连接；

催化反应器(3)，所述催化反应器(3)包括加热腔室(9)和催化分解室(10)，所述加热腔室(9)用于分解硅烷，所述催化分解室(10)用于分解氨气，所述催化反应器(3)的进气口与所述冷介质出口连接；

氧化器(4)，用于氢气燃烧，所述氧化器(4)的出气口与所述热介质进口连接，所述氧化器(4)的进气口设有燃烧器(6)，所述燃烧器(6)与所述催化反应器(3)的出气口连接。

2.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述催化反应器(3)包括保温层(42)，所述加热腔室(9)设置在所述保温层(42)内，所述加热腔室(9)内设有分隔壳体，所述分隔壳体内形成所述催化分解室(10)，所述催化反应器(3)的进气口与所述加热腔室(9)连接，所述分隔壳体的底部具有气体通道(15)，所述加热腔室(9)底部设有集灰室(14)。

3.根据权利要求2所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述加热腔室(9)内设有电加热丝。

4.根据权利要求2所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述催化分解室(10)内设有Ni催化剂。

5.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述催化反应器(3)的出气口和所述燃烧器(6)的连接管道上设有精密过滤器(13)。

6.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述氧化器(4)包括保温壳(41)，所述保温壳(41)内形成氧化室(16)，所述燃烧器(6)与氧气管道(18)连接。

7.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述预热器(2)为套管式热交换器，所述预热器(2)包括壳体和设置在所述壳体内的列管，所述热介质进口和所述热介质出口与所述壳体连接，所述冷介质进口和所述冷介质出口与所述列管连接，所述壳体下方设有泄灰口(17)。

8.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述废气输送管道(1)上设有缓冲罐(20)和阻火器(38)，所述阻火器(38)位于所述缓冲罐(20)的下游。

9.根据权利要求1-8任一所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，还包括第一氮气管道(7)和第二氮气管道(8)，所述第一氮气管道(7)连接所述废气输送管道(1)，所述第二氮气管道(8)连接所述热介质进口。

10.根据权利要求1-8任一所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，还包括压缩空气管道(19)和负压吸引器(5)，所述压缩空气管道(19)和所述热介质出口与所述负压吸引器(5)连接。