[发明专利]一种深紫外LED光触媒模块及其制备方法在审
| 申请号： | 202211000765.6 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115350295A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 韩奎;郭文平;邓群雄;王晓宇 | 申请（专利权）人： | 元旭半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | A61L2/10 | 分类号： | A61L2/10;A61L2/26;B01J21/06;B01J35/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 led 触媒 模块 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种深紫外LED光触媒模块，其特征在于，包括蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底包括一组相对的刻蚀面，所述刻蚀面上设置有若干棱锥；所述刻蚀面上还设置有光触媒纳米线阵列薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种深紫外LED光触媒模块，其特征在于，若干所述棱锥规则排列。
3.根据权利要求2所述的一种深紫外LED光触媒模块，其特征在于，所述光触媒纳米线阵列薄膜中光触媒纳米线的直径为5nm～20nm,长度为1～10um；所述光触媒纳米线在每平方厘米面积上数量：103～107。
4.一种深紫外LED光触媒模块制备方法，基于权利要求1至3任一所述的一种深紫外LED光触媒模块，其特征在于，包括以下步骤：
提供蓝宝石衬底；
在所述蓝宝石衬底的一组相对面上刻蚀若干规则排列的棱锥，形成刻蚀面；
在所述刻蚀面上生长光触媒纳米线阵列薄膜。
5.根据权利要求4所述的一种深紫外LED光触媒模块制备方法，其特征在于，在所述刻蚀面上通过液相法原位生长光触媒纳米线阵列薄膜。
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