[发明专利]一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪

权利要求书

1.一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，包括：深紫外激光器(100)、外光路(200)和光谱分析仪(300)；

所述深紫外激光器(100)用于发出228.5nm激光；

所述228.5nm激光在所述外光路(200)中通过准直和滤波处理后，通过所述外光路(200)中的光纤探针(16)照射到目标样品上，产生散射光；所述散射光被过滤处理后，获得拉曼散射光；

所述拉曼散射光经过所述外光路(200)传输到所述光谱分析仪(300)，获得拉曼信号。

2.如权利要求1所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述深紫外激光器(100)包括激光二极管泵浦源(1)、耦合系统(2)、增益晶体掺钕钒酸钇(3)、声光Q装置(4)、反射镜(5)、倍频晶体三硼酸锂(6)、平凹输出镜(7)、第一聚焦镜(8)和倍频晶体偏硼酸钡(9)；

所述激光二极管泵浦源(1)用于产生泵浦光；

所述泵浦光经过所述耦合系统(2)和增益晶体掺钕钒酸钇(3)后产生914nm的红外激光；

所述红外激光经过所述声光Q装置(4)后形成窄线宽脉冲激光，入射到所述倍频晶体三硼酸锂(6)内得到457nm的蓝色激光；

所述蓝色激光经过所述反射镜(5)后，由所述平凹输出镜(7)输出，之后通过所述第一聚焦镜(8)，在所述倍频晶体偏硼酸钡(9)处得到228.5nm深紫外激光。

3.如权利要求2所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述深紫外激光器(100)还包括分光棱镜(10)和光学垃圾桶(11)；

所述228.5nm深紫外激光经过所述分光棱镜(10)后被分离成457nm激光和228.5nm激光；其中，所述457nm激光被所述光学垃圾桶(11)收集，最终得到228.5nm激光。

4.如权利要求2所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述耦合系统(2)包括平凸镜和偏振片；所述平凸镜的焦距为10mm；所述偏振片呈45°角放置。

5.如权利要求1所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述外光路(200)包括第一准直透镜(12)、窄带滤波片(13)、双色镜(14)、第二聚焦镜(15)和光纤探针(16)；

所述228.5nm激光由所述第一准直透镜(12)准直后，通过所述窄带滤波片(13)去除杂散光，之后经过所述双色镜(14)反射到所述第二聚焦镜(15)处汇聚成228.5nm激光光束，并导入到所述光纤探针(16)处；

所述光纤探针(16)将所述228.5nm激光光束照射到目标样品上，产生散射光；所述228.5nm激光光束和散射光经过所述光纤探针(16)和第二聚焦镜(15)后入射到所述双色镜(14)上；

所述双色镜(14)用于反射所述228.5nm激光光束并透过所述散射光。

6.如权利要求5所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述外光路(200)还包括瑞利散射滤光片(17)、中继透镜(18)和耦合光纤(19)；

所述散射光通过所述瑞利散射滤光片(17)过滤后，获得拉曼散射光；

所述拉曼散射光通过所述中继透镜(18)聚焦后，经过所述耦合光纤(19)传输至所述光谱分析仪中。

7.如权利要求5所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述光纤探针(16)为表面增强锥形光纤探针。

8.如权利要求7所述的一种228.5nm深紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述表面增强锥形光纤探针包括外包层、光纤纤芯和光纤探头；

所述228.5nm激光光束经过所述第二聚焦镜(15)后，通过所述外包层导入所述光纤纤芯，到达掺银的所述光纤探头内；

所述228.5nm激光光束从银粒子间隙出射到达目标样品上，激发出散射光，所述散射光通过银粒子间隙入射到所述光纤纤芯并得到有效增强。