[发明专利]包括耦接元件的感测部件

说明书

本文公开了用于为装置提供感测部件的方法、装置和系统。一种示例感测部件包括：衬底；感测元件，该感测元件附接到衬底的表面并且与其电子通信；与感测元件接触的下耦接元件，该下耦接元件限定感测部件的底层；以及上耦接元件，该上耦接元件邻近下耦接元件的顶表面设置并限定感测部件的顶层，其中下耦接元件相对于上耦接元件表现出更低的内部应力。

背景技术

包括感测部件(例如，压力感测部件)的装置可以在广泛多种应用(包括例如商业应用、汽车应用、航空航天应用、工业应用和医疗应用)中检测和/或测量各种参数(例如，压力)。许多感测部件受到技术挑战和限制的困扰。通过所付努力、智慧和创新，包括在本公开的实施方案中的开发解决方案已经解决了许多这些识别的问题，本文详细描述了这些解决方案的许多示例。

发明内容

本文所述的各种实施方案涉及多种方法、装置和系统中的感测部件。

根据本公开的各种示例，提供了一种感测部件。在一些示例中，该感测部件包括：衬底；感测元件，该感测元件附接到衬底的表面并且与其电子通信；与感测元件接触的下耦接元件，该下耦接元件限定感测部件的底层；以及上耦接元件，该上耦接元件邻近下耦接元件的顶表面设置并限定感测部件的顶层，其中下耦接元件相对于上耦接元件表现出更低的内部应力。

根据本公开的各种示例，提供了一种用于制造感测部件的方法。在一些示例中，该方法包括制备衬底；将感测元件附接到衬底的表面；将柱状结构附接到衬底以便围绕感测元件并限定空腔；将下耦接元件设置在柱状结构内；以及将上耦接元件设置在结构内，其中下耦接元件相对于上耦接元件表现出更低的内部应力。

上述例示性发明内容以及本公开的其他示例性目的和/或优点以及实现这些目的和/或优点的方式在以下具体实施方式及其附图中进一步解释。

附图说明

可结合附图阅读例示性实施方案的描述。将了解，为了说明的简单和清晰，除非另外描述，否则图中所示出的元件不一定按比例绘制。例如，除非另外描述，否则元件中的一些元件的维度可相对于其他元件被夸大。并入有本公开的教导的实施方案相对于本文中呈现的附图来展示和描述，在附图中：

图1示出了根据本公开的各种实施方案的示例感测部件的横截面视图；

图2示出了根据本公开的各种实施方案的示例方法；

图3示出了根据本公开的各种实施方案的示例控制器部件；

图4示出了描绘示例测量结果的图；并且

图5示出了描绘与根据本公开的各种实施方案的示例感测部件相关联的示例测量结果的图。

具体实施方式

在下文中将参考附图更全面地描述本公开的一些实施方案，附图中示出了本公开的一些实施方案，但未示出全部实施方案。实际上，这些公开内容可以以许多不同的形式体现，并且不应该被解释为限于本文中所阐述的实施方案；相反，提供这些实施方案是为了使本公开满足适用的法律要求。在全篇内容中，类似的标号指代类似的元件。

附图中示出的部件表示在本文描述的本公开的各种实施方案中可存在或可不存在的部件，使得实施方案可包括比图中所示的部件更少或更多的部件，而不脱离本公开的范围。一些部件可能会从一个或多个附图中省略，或为了使下面的部件可见而以虚线展示。

短语“在示例实施方案中”、“一些实施方案”、“各种实施方案”等一般意指跟在这些短语后的特定特征、结构或特性可被包括在本公开的至少一个实施方案中，并且可被包括在本公开的不止一个实施方案中(重要的是，这类短语不一定是指相同的实施方案)。

本文使用的词语“示例”或“示例性”意指“用作示例、实例或说明”。本文中描述为“示例性”的任何具体实施不一定被解释为比其他具体实施优选或有利。