[发明专利]四维超声平面抛光实验台及其使用方法

权利要求书

1.一种四维超声平面抛光试验台，其特征在于：包括抛光工作台、主轴超声振动装置、限位与传动超声装置、超声雾化机械手、控制系统；所述抛光工作台由抛光工作台外壳、抛光盘超声转动装置以及抛光液回收装置组成；所述主轴超声振动装置、限位与传动超声装置、超声雾化机械手分别固定安装在抛光工作台上表面的中间和两侧；所述控制系统连接并控制所述抛光工作台、主轴超声振动装置、限位与传动超声装置、超声雾化机械手。

2.根据权利要求1所述的一种四维超声平面抛光试验台，其特征在于：所述抛光工作台外壳包括上箱体、下箱体和支撑底座；

所述抛光盘超声转动装置包括转动电机、抛光盘、传动轴、联轴器、安装通槽、第一超声发生装置、保护套、搅拌叶片；

所述的转动电机固定安装在抛光工作台底部，且所述转动电机输出轴垂直于所述抛光盘；

所述传动轴通过联轴器与所述转动电机连接，且所述的传动轴开设有安装通槽，并将第一超声发生装置固定在安装通槽内；所述传动轴连接抛光盘；所述传动轴外表面安装有保护套；所述搅拌叶片安装在所述联轴器固定位置上，且所述搅拌叶片跟随所述联轴器一起转动；

所述保护套包括第一保护套、第二保护套；所述保护套采用耐磨耐水材料制备；所述第一保护套下端连接固定在所述转动电机上；所述第二保护套一端与搅拌叶片固定在一起，且所述第二保护套跟随所述搅拌叶片一起转动；所述第一保护套、第二保护套的内径均大于联轴器的最大外径；

所述抛光液回收装置包括薄壁、储液箱、第一输气管、第二排液管、第三输液管、回液箱、第一端盖、第二端盖、回液管；

所述薄壁包括引流槽；所述薄壁为倒立圆台形壳体，且薄壁大端与抛光工作台外壳中上箱体相切；所述引流槽圆周均布的开设在薄壁的内薄壁上；所述薄壁小端连接储液箱；

所述储液箱包括密封圈、第一螺栓、储液箱第一侧壁、储液箱第二侧壁；所述储液箱底部开设一个大于所述第一保护套外径的通孔；所述储液箱底部通过所述密封圈与所述第一保护套密封，且所述储液箱、第一保护套和转动电机采用一组第一螺栓固定；所述储液箱第一侧壁开设有第一孔与第二孔，所述第一孔与第二孔开设位置关于所述搅拌叶片对称，第一孔开设在第二孔上方；所述第一孔和第二孔分别连接第一输气管和第二排液管；

所述第一输气管和第二排液管内包括第一可调节阀门与第二可调节阀门；所述储液箱第二侧壁开设有与第二孔等位置的第三孔，所述第三孔连接第三输液管；

所述第三输液管为直角弯管，其内包括第三可调节阀门、第一粗滤网、第二精滤网；所述第三输液管与回液箱连接；

所述回液箱前壁开设有第四孔和第五孔，所述第四孔和第五孔连接有与孔相切的第一端盖与第二端盖；所述第一端盖与第二端盖可自由开关；所述回液箱上侧开设有第六孔，所述第六孔安装有插入所述回液箱至底部的回液管；

所述抛光工作台外壳中下箱体开设有第七孔至第十三孔，分别对应所述第一可调节阀门、第二可调节阀门、第三可调节阀门与第四孔、第五孔以及第一输气管和第二排液管。

3.根据权利要求1所述的一种四维超声平面抛光试验台，其特征在于：所述主轴超声振动装置包括基座、伸缩调节台、主轴梁、第二超声发生器、砝码、法兰板、第二螺栓、双螺母锁紧结构；

所述基座连接可垂直于所述抛光盘方向伸缩的伸缩调节台；所述伸缩调节台连接主轴梁；所述主轴梁连接第二超声发生器；

所述第二超声发生器末端紧密连接砝码；所述第二超声发生器上套有法兰板；所述法兰板中心开设有可与所述第二超声发生器紧密连接的通孔，且所述法兰板开设有一对等径的关于所述法兰板中心对称的螺纹通孔；所述砝码开设有与所述法兰盘螺纹通孔相同位置的固定深度的螺纹孔；所述法兰板与所述砝码通过一对第二螺栓连接；所述第二螺栓采用可调的双螺母锁紧结构。