[发明专利]用于椭偏量测系统的自动聚焦方法

权利要求书

1.一种用于椭偏量测系统的自动聚焦方法，包括：

将具有反射表面和通光孔的反射型聚焦镜定位在所述椭偏量测系统的从样品反射的光束的光路上，以使得：所述反射表面反射所述光束的第一部分至所述椭偏量测系统中的光谱仪，以及所述通光孔透过所述光束的第二部分，其中所述第一部分所占光束的能量的比例大于所述第二部分所占光束的能量的比例；

使用多象限探测器接收从所述通光孔所透过的所述光束的所述第二部分，以产生与所述样品偏离所述椭偏量测系统的入射光束的焦面的距离有关的探测信号；以及

使用处理器，以基于所述探测信号产生用于使所述样品移动至所述焦面的控制信号。

2.根据权利要求1所述的自动聚焦方法，还包括：

使用聚焦透镜将从所述通光孔透过的所述光束的所述第二部分聚焦至所述多象限探测器。

3.根据权利要求1所述的自动聚焦方法，所述通光孔为狭缝，所述狭缝的长向方向被定位在所述椭偏量测系统的所述入射光束和反射光束所限定的平面内。

4.根据权利要求1所述的自动聚焦方法，所述通光孔为狭缝，所述狭缝的宽度方向的尺寸小于2mm。

5.根据权利要求1所述的自动聚焦方法，所述多象限探测器位于所述椭偏量测系统的从样品反射的光束的光路的直线延伸线上。

6.根据权利要求1所述的自动聚焦方法，其中当所述样品位于所述椭偏量测系统的入射光束的焦面上时，所述探测信号为零。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的自动聚焦方法，其中使用多象限探测器接收从所述通光孔所透过的所述光束的所述第二部分的步骤还包括：通过所述多象限探测器对所述光束的所述第二部分的光强的监测，来提供与入射到所述样品上的光强有关的监测信号。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的自动聚焦方法，其中所述探测信号是所述距离的单调函数。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的自动聚焦方法，其中所述多象限探测器是二象限探测器。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的自动聚焦方法，其中所述反射型聚焦镜为椭球反射镜。

11.一种椭偏量测方法，其包括根据权利要求1-10中任一项所述的自动聚焦方法。