[发明专利]二极管生产工艺中使用的酸洗装置有效
申请号: | 202210941708.1 | 申请日: | 2022-08-08 |
公开(公告)号: | CN115463885B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 尧地长;尧瑞琪;尧瑞弘 | 申请(专利权)人: | 江西德尔诚半导体有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10 |
代理公司: | 南昌恒桥知识产权代理事务所(普通合伙) 36125 | 代理人: | 许明亮 |
地址: | 342100 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二极管 生产工艺 使用 酸洗 装置 | ||
1.二极管生产工艺中使用的酸洗装置,包括用于盛放酸液的酸洗池(1)和设置在酸洗池(1)内部用于放置二极管的托架(2),其特征在于:所述托架(2)底部设置有酸液搅拌机构(3),所述托架(2)顶部设置有二极管保护机构(4),所述酸洗池(1)顶部两侧设置有托架(2)升降机构;
所述酸液搅拌机构(3)包括设置在托架(2)底部的搅拌波轮(5),所述搅拌波轮(5)底部安装有根据波轮升降驱动波轮旋转的波轮驱动机构(6);
所述二极管保护机构(4)包括两组对称设置在托架(2)顶部的二极管存放槽(7)和用于将二极管限位在二极管存放槽(7)内部的限位机构(8);
所述托架(2)升降机构包括两个对称设置在酸洗池(1)顶部的传动臂(9),所述传动臂(9)一端与托架(2)相连接,用于驱动托架(2)在酸洗池(1)上下移动,所述酸洗池(1)底部设置有用于驱动传动臂(9)活动的动力机构(10);
所述搅拌波轮(5)包括呈圆盘状的盘体(51),所述盘体(51)底部呈环状分布有多个搅拌叶(52),所述盘体(51)表面呈环状开设有多个通孔(53),所述通孔(53)与搅拌叶(52)相对应,所述盘体(51)顶部呈环状嵌设有多个滚珠一(54);
所述波轮驱动机构(6)包括连接在盘体(51)底部的支撑杆(61),所述酸洗池(1)内壁底部安装有套筒(62),所述套筒(62)顶部安装有固定环(63),所述支撑杆(61)底端贯穿固定环(63)并延伸入套筒(62)内部,所述支撑杆(61)外部呈螺旋状环绕有两个对称分布的导轨(64),所述固定环(63)内壁与支撑杆(61)的连接处开设有两个导向槽(65),所述导轨(64)与导向槽(65)滑动连接,所述支撑杆(61)底部安装有波轮复位组件(66);
所述波轮复位组件(66)包括设置通过螺钉安装在支撑杆(61)底部呈圆形的连接片(661),所述连接片(661)底部呈环状嵌设有多个滚珠二(662),所述连接片(661)底部设置有活动盘(663),所述活动盘(663)设置在套筒(62)内部并与套筒(62)滑动连接,所述活动盘(663)底部安装有复位弹簧一(664),所述套筒(62)外部开设有多个通槽(665);
每组二极管存放槽(7)由多个等距分布的且呈半圆柱状的限位槽(701)组成;
所述限位机构(8)包括二极管推条(81)和二极管压板(82),所述二极管推条(81)的二极管压板(82)分别设置在限位槽(701)的两个端部方向,所述二极管推条(81)活动安装在托架(2)顶部靠近托架(2)中心的一侧,所述二极管推条(81)底部安装有两个推条驱动架(83),所述二极管压板(82)设置在托架(2)顶部靠近托架(2)边缘的一侧,所述二极管压板(82)一侧安装有两个压板驱动架(84);
所述推条驱动架(83)底端延伸至托架(2)底部,所述推条驱动架(83)与托架(2)滑动连接,所述压板驱动架(84)一端延伸至托架(2)底部,所述压板驱动架(84)与托架(2)铰接,所述压板驱动架(84)与推条驱动架(83)之间设置有限位驱动组件(85);
所述限位驱动组件(85)包括设置在托架(2)底部的固定板(851),以及设置在推条驱动架(83)和压板驱动架(84)之间的连接杆(852);
所述固定板(851)顶端安装有多个导向杆(853),所述导向杆(853)贯穿托架(2)并与托架(2)滑动连接,所述导向杆(853)顶端通过螺钉安装有用于防止导向杆(853)脱离的固定片(854),所述导向杆(853)外部套设有用于固定板(851)复位的复位弹簧二(855),所述复位弹簧二(855)设置在托架(2)底部并与托架(2)相连接;
所述固定板(851)与推条驱动架(83)之间倾斜设置有传动杆(856),所述传动杆(856)两端分别与固定板(851)和推条驱动架(83)铰接,所述复位弹簧二(855)的弹性系数远小于复位弹簧一(664)的弹性系数。
2.根据权利要求1所述的二极管生产工艺中使用的酸洗装置,其特征在于:所述连接杆(852)一端与推条驱动架(83)固定连接,所述压板驱动架(84)底部设置为Y形,所述连接杆(852)一端延伸入压板驱动架(84)内部,所述连接杆(852)两侧对称设置有两个圆柱状的滑块(857),所述压板驱动架(84)上开设有与滑块(857)相对应的滑槽(858)。
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